[实用新型]蚀刻系统

摘要

本实用新型提供了一种蚀刻系统，包括：喷射装置，用于向基板喷射混合了微型泡沫的蚀刻液；吸入及喷嘴构件，安装在接近基板的位置，用于向基板喷射空气来分散蚀刻液，并吸入积累的蚀刻液进行回收；空气供给部，用于为吸入及喷嘴构件提供空气；蚀刻液回收部，用于为吸入及喷嘴构件提供吸入力，以回收基板上的蚀刻液；吸入及喷嘴构件包括：喷嘴体；在喷嘴体中形成的用于在喷嘴体下端喷射空气的空气喷射通道；在喷嘴体中形成的用于从喷嘴体下端吸入蚀刻液的蚀刻液吸入通道，蚀刻液吸入通道与空气喷射通道相互隔离。借此，本实用新型蚀刻系统能够使得水坑效应最小化，同时增加蚀刻速度和减少能量消费量。

主权项

1.一种蚀刻系统，其特征在于，包括：喷射装置，所述喷射装置包括：至少一蚀刻液喷嘴，安装在相对基板预定距离位置；储液槽，存储用于向所述蚀刻液喷嘴供给的蚀刻液；连通所述储液槽和所述蚀刻液喷嘴的蚀刻液供给通道；供给泵浦，安装在所述蚀刻液供给通道上抽取供给所述蚀刻液；微型泡沫发生部，安装在所述蚀刻液供给通道上并用于产生所述微型泡沫；吸入及喷嘴构件，安装在接近基板的位置，所述吸入及喷嘴构件包括：喷嘴体；在所述喷嘴体中形成的用于在所述喷嘴体下端喷射空气的空气喷射通道；在所述喷嘴体中形成的用于从所述喷嘴体下端吸入所述蚀刻液的蚀刻液吸入通道，所述蚀刻液吸入通道与所述空气喷射通道相互隔离；空气供给部，所述空气供给部连接于所述吸入及喷嘴构件的所述空气喷射通道；蚀刻液回收部，所述蚀刻液回收部包括：连接所述储液槽和所述蚀刻液吸入通道的回收通道；以及设置在所述回收通道上用于提供吸入力的回收泵浦。