[实用新型]一种基板自动翻转装置有效
| 申请号： | 201820408790.0 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN208266258U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 孙力;杨小军;张韬 | 申请（专利权）人： | 成都西沃克真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 成都新驱科为知识产权代理事务所(普通合伙) 51251 | 代理人： | 成实 |
| 地址： | 610091 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板自动翻转装置，其特征在于，包括安装板(1)，设置在安装板(1)上的驱动装置，设置在驱动装置相连接的齿盘(5)，以及与驱动装置相连接的翻转组件；所述翻转组件还与齿盘(5)相连接。本实用新型结构简单，使用方便，生产与使用的成本较低，该装置通过设置的翻转组件与设置在驱动装置上的齿盘相配合，能使安装在翻转组件上的基板实现翻转，即基板的上下表面均可与靶材分子充分接触，从而确保了本实用新型的基板上下表面均可承载基片，有效的提高了阻蒸镀膜机的镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 翻转组件 驱动装置 本实用新型 齿盘 自动翻转装置 上下表面 安装板 承载基片 充分接触 镀膜效率 蒸镀膜 翻转 靶材 配合 生产 | ||
【主权项】：
1.一种基板自动翻转装置，其特征在于，包括安装板(1)，设置在安装板(1)上的驱动装置，设置在驱动装置相连接的齿盘(5)，以及与驱动装置相连接的翻转组件；所述翻转组件还与齿盘(5)相连接。
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