[实用新型]一种硅片刻蚀带叶滚轮装置

摘要

本实用新型公开了硅片刻蚀技术领域的一种硅片刻蚀带叶滚轮装置，包括底座，所述底座的顶部均匀开设有卡槽，所述底座的顶部均匀开设有第一固定螺孔，两组所述卡槽在两组第一固定螺孔之间，所述底座的顶部连接有挡板，所述挡板的底部均匀开设有压槽，所述挡板的顶部均匀连接有第二固定螺孔，两组所述压槽在两组第二固定螺孔之间，所述卡槽与压槽之间连接有带叶滚轮，所述底座与挡板的左侧连接有支撑柱，所述支撑柱的右侧镶嵌有轴承，本实用新型将原有的平面滚轮轴变为带叶滚轮，减少了与酸的接触面，减少了成本，本实用新型滚轮轴通过挡板和螺钉将其固定在底座上，降低了滚轮轴的跳动，提高了生产质量。

主权项

1.一种硅片刻蚀带叶滚轮装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部均匀开设有卡槽(2)，所述底座(1)的顶部均匀开设有第一固定螺孔(3)，两组所述卡槽(2)在两组第一固定螺孔(3)之间，所述底座(1)的顶部连接有挡板(4)，所述挡板(4)的底部均匀开设有压槽(5)，所述挡板(4)的顶部均匀连接有第二固定螺孔(6)，两组所述压槽(5)在两组第二固定螺孔(6)之间，所述卡槽(2)与压槽(5)之间连接有带叶滚轮(7)，所述底座(1)与挡板(4)的左侧连接有支撑柱(8)，所述支撑柱(8)的右侧镶嵌有轴承(9)，所述底座(1)的右侧底部连接有电机底座(10)，所述电机底座(10)的顶部连接有电机(11)，所述电机(11)的左侧输出轴连接有转轴(12)，所述转轴(12)的左端插接在轴承(9)的内腔，所述转轴(12)的外壁均匀套接有斜齿轮(13)，所述斜齿轮(13)的左侧与带叶滚轮(7)的右侧连接，所述带叶滚轮(7)包括支柱(71)，所述支柱(71)的外壁开设有螺纹(73)，所述支柱(71)的左右两端均连接有齿轮(72)。