[实用新型]刷洗装置有效
| 申请号： | 201820340187.3 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN208390501U | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 赵珳技 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B1/02;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及刷洗装置，其包括：清洗刷，其以旋转状态接触基板的表面并进行清洗；扭矩感测部，其感测清洗刷的旋转扭矩，当扭矩感测部感测到的清洗刷的旋转扭矩超过预设范围时，改变清洗刷的旋转速度，从而可以提高基板的清洗效率，改善清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗刷 刷洗装置 旋转扭矩 感测部 感测 本实用新型 接触基板 清洗效果 清洗效率 旋转状态 基板 预设 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种刷洗装置，其特征在于，包括：清洗刷，其以旋转状态接触基板表面并进行清洗；表面检测部，其检测基板的表面状态，根据表面检测部感测到的所述基板的表面状态，改变所述清洗刷对所述基板的清洗条件。
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