[实用新型]刷洗装置有效
| 申请号： | 201820340187.3 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN208390501U | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 赵珳技 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B1/02;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗刷 刷洗装置 旋转扭矩 感测部 感测 本实用新型 接触基板 清洗效果 清洗效率 旋转状态 基板 预设 清洗 | ||
1.一种刷洗装置，其特征在于，包括：
清洗刷，其以旋转状态接触基板表面并进行清洗；
表面检测部，其检测基板的表面状态，
根据表面检测部感测到的所述基板的表面状态，改变所述清洗刷对所述基板的清洗条件。
2.根据权利要求1所述的刷洗装置，其特征在于，
所述表面检测部检测残留于所述基板的异物，
与残留于所述基板的所述异物对应，借助于所述表面检测部来改变所述基板的清洗条件。
3.根据权利要求1所述的刷洗装置，其特征在于，
根据所述基板的表面状态，改变所述清洗刷的旋转扭矩。
4.根据权利要求1所述的刷洗装置，其特征在于，
根据借助于所述表面检测部来检测到的所述基板的表面状态，改变所述清洗刷的旋转扭矩。
5.根据权利要求1所述的刷洗装置，其特征在于，
在所述清洗刷以旋转状态接触所述基板期间，所述表面检测部检测所述基板的表面状态，根据检测到的基板的表面状态，实时调节所述基板的清洗条件。
6.根据权利要求1所述的刷洗装置，其特征在于，
还包括感测所述清洗刷的旋转扭矩的扭矩感测部，
在所述扭矩感测部感测到的所述清洗刷的旋转扭矩不超出预设范围的限度内，改变所述清洗刷的旋转速度。
7.根据权利要求1～6中任意一项所述的刷洗装置，其特征在于，
包括支撑所述基板并使其旋转的基板旋转单元，
根据所述表面检测部检测的所述基板的表面状态，借助于所述基板旋转单元来调节所述基板的旋转速度。
8.根据权利要求1～6中任意一项所述的刷洗装置，其特征在于，
包括向所述基板喷射清洗流体的清洗流体喷射部，
根据所述表面检测部检测的所述基板的表面状态，借助于所述清洗流体喷射部来改变所述清洗流体的喷射量及喷射压力中的任意一个以上。
9.根据权利要求8所述的刷洗装置，其特征在于，
被提供的所述清洗流体喷射部能够相对于基板表面进行摆动，
根据所述表面检测部检测的所述基板的表面状态，改变所述清洗流体喷射部的摆动角度及摆动速度中的任意一个以上。
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