[实用新型]金属网沉积金刚石涂层装置和金属网沉积金刚石涂层系统有效

专利信息
申请号: 201820338175.7 申请日: 2018-03-12
公开(公告)号: CN208346252U 公开(公告)日: 2019-01-08
发明(设计)人: 唐永炳;李星星;王陶;黄磊;杨扬 申请(专利权)人: 深圳先进技术研究院
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27;C23C16/458
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 史晶晶
地址: 518000 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种金属网沉积金刚石涂层装置和金属网沉积金刚石涂层系统,涉及油水分离金刚石涂层金属网技术领域。金属网沉积金刚石涂层装置包括夹具本体;夹具本体包括平行设置的第一本体和第二本体,第一本体和第二本体的本体内部均独立地具有空洞,金属网置于第一本体与第二本体之间,且金属网边缘尺寸大于第一本体和第二本体的空洞尺寸,第一本体与第二本体通过垂直于第一本体的可拆卸夹紧机构固定,以夹紧金属网。本实用新型缓解了化学气相沉积沉积温度较高,由于金属网较薄,在沉积过程中容易变形,造成沉积和薄膜生长不均匀的缺陷,通过本实用新型可以将金属网固定住,沉积过程金属网不会变形,使金属网上生长的金刚石薄膜更加均匀。
搜索关键词: 金属网 沉积金刚石涂层 沉积 本实用新型 夹具本体 变形 空洞 化学气相沉积 金刚石薄膜 金刚石涂层 薄膜生长 夹紧机构 平行设置 油水分离 不均匀 可拆卸 夹紧 垂直 金属 缓解 生长
【主权项】:
1.一种金属网沉积金刚石涂层装置,其特征在于,所述金属网沉积金刚石涂层装置包括夹具本体(100);所述夹具本体(100)包括平行设置的第一本体(110)和第二本体(120),所述第一本体(110)和所述第二本体(120)的本体内部均独立地具有空洞,金属网(200)置于所述第一本体(110)与所述第二本体(120)之间,且金属网(200)边缘尺寸大于所述第一本体(110)和所述第二本体(120)的空洞尺寸,所述第一本体(110)与所述第二本体(120)通过垂直于所述第一本体(110)的可拆卸夹紧机构(130)固定,以夹紧所述第一本体(110)与所述第二本体(120)之间的金属网(200)。
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