[实用新型]化学研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种化学研磨装置，属于玻璃基板加工技术领域，该装置主要由研磨液浴箱、玻璃基板放置架、耐酸阀、研磨液储存箱和耐酸泵组成，可将玻璃基板放置在研磨液浴箱内进行研磨处理，在处理过程中，完全处于封闭状态，不会挥发出氟酸气体，改善了工作人员的工作环境；当需要从研磨液浴箱中取出玻璃基板时，只需要打开耐酸阀，将研磨液浴箱内的研磨液排至研磨液储存箱中，然后利用吊装设备将玻璃基板放置架连带玻璃基板一起吊出，最大程度的减少了取放玻璃基板过程中氟酸挥发量。

主权项

1.一种化学研磨装置，其特征在于，包括：研磨液储存箱，所述研磨液储存箱设置有循环回液口、补液口和两个出液口，所述研磨液储存箱的补液口和其中一个出液口均设置有密封塞；研磨液浴箱，所述研磨液浴箱固定安装于所述研磨液储存箱的上方，其顶部设置有浴箱密封盖，侧壁由上至下依次开设有若干扁平状的浴箱进液口，底部设置有循环排液口，所述研磨液浴箱的循环排液口与所述研磨液储存箱的循环回液口之间通过耐酸阀连接；玻璃基板放置架，所述玻璃基板放置架放置于所述研磨液浴箱内，且由上至下依次设置有多层网状结构的玻璃支撑板，每层所述玻璃支撑板均对应一个所述浴箱进液口；耐酸泵，所述耐酸泵的进口与所述研磨液储存箱的另一个出液口连接；分液器，所述分液器由一根分液总管和若干与所述分液总管连接的分液支管组成，所述分液支管的出口为与所述浴箱进液口形状相匹配的长条形矩形口，所述分液支管与所述浴箱进液口一一对应连接，所述分液总管与所述耐酸泵的出口连接。