[实用新型]一种微电子机械系统MEMS加速度计有效
| 申请号： | 201820262670.4 | 申请日： | 2018-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN208476957U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 森克·阿卡尔;布伦顿·罗丝·西蒙;散蒂帕·迈蒂 | 申请（专利权）人： | 半导体元件工业有限责任公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/18;G01P1/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 徐川;姚开丽 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型涉及微电子机械系统MEMS加速度计。提供了一种用于补偿检验质量块的封装应力的技术。在示例中，检验质量块可以通过检验质量块锚悬置在基底上。第一检验质量块可以具有限定第一平面的主表面。电极的形成检验质量块的一部分的各部可以关于第一线彼此对称，其中，第一线平分第一检验质量块锚，平行于第一平面延伸并且在第一电极与第二电极之间延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 检验质量块 微电子机械系统 第一线 本实用新型 第二电极 第一电极 封装应力 平面延伸 电极 平面的 主表面 基底 悬置 对称 平行 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种微电子机械系统MEMS加速度计，包括：第一检验质量块锚；第一检验质量块，所述第一检验质量块通过所述第一检验质量块锚悬置在基底上，所述第一检验质量块具有限定第一平面的主表面；第一电极的第一部，所述第一电极的第一部被配置为与所述第一电极的第二部电相互作用，其中，所述第一检验质量块包括所述第一电极的第二部；第二电极的第一部，所述第二电极的第一部被配置为与所述第二电极的第二部电相互作用，其中，所述第一检验质量块包括所述第二电极的第二部；其中，所述第一电极和所述第二电极被配置为提供表示所述MEMS加速度计的沿垂直于所述第一平面的轴的加速度的差分信号；其中，所述第一电极的第一部和所述第二电极的第一部关于第一线彼此对称；并且其中，所述第一线平分所述第一检验质量块锚，平行于所述第一平面延伸并且在所述第一电极与所述第二电极之间延伸。
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