[实用新型]一种微电子机械系统MEMS加速度计

说明书

本实用新型涉及微电子机械系统MEMS加速度计。提供了一种用于补偿检验质量块的封装应力的技术。在示例中，检验质量块可以通过检验质量块锚悬置在基底上。第一检验质量块可以具有限定第一平面的主表面。电极的形成检验质量块的一部分的各部可以关于第一线彼此对称，其中，第一线平分第一检验质量块锚，平行于第一平面延伸并且在第一电极与第二电极之间延伸。

技术领域

本实用新型总体上涉及一种微电子机械系统(MEMS)加速度计，并且更特别地涉及用于减轻MEMS加速度计的封装应力影响的技术。

背景技术

MEMS加速度计可以为小装置提供移动信息，该小装置为例如但不限于个人数字助理、便携式通信装置、便携式多媒体播放器、可穿戴电子装置等。然而，MEMS加速度计中的部件的应力以及可由组装以及封装MEMS加速度计所带来的应力会影响由MEMS加速度计产生的信息的准确度或精度。

实用新型内容

一种微电子机械系统MEMS加速度计，包括：第一检验质量块锚；第一检验质量块，所述第一检验质量块通过所述第一检验质量块锚悬置在基底上，所述第一检验质量块具有限定第一平面的主表面；第一电极的第一部，所述第一电极的第一部被配置为与所述第一电极的第二部电相互作用，其中，所述第一检验质量块包括所述第一电极的第二部；第二电极的第一部，所述第二电极的第一部被配置为与所述第二电极的第二部电相互作用，其中，所述第一检验质量块包括所述第二电极的第二部；其中，所述第一电极和所述第二电极被配置为提供表示所述MEMS加速度计的沿垂直于所述第一平面的轴的加速度的差分信号；其中，所述第一电极的第一部和所述第二电极的第一部关于第一线彼此对称；并且其中，所述第一线平分所述第一检验质量块锚，平行于所述第一平面延伸并且在所述第一电极与所述第二电极之间延伸。

该概述意在提供对本专利申请的主题的总体概述。该概述不意在提供本实用新型的排他的或详尽的说明。包括了详细的描述以提供关于本专利申请的进一步的信息。

附图说明

在未必按比例绘制的附图中，在不同的视图中，类似的附图标记可以描述类似的部件。具有不同字母下标的类似的附图标记可以表示类似的部件的不同的实例。附图以示例的方式但是不是限制的方式大体上示出了本文档中所讨论的各种实施方式。

图1A和图1B大体示出了用于示例性MEMS加速度计的检验质量块结构的示例。

图2A和图2B大体示出了用于示例性MEMS加速度计的检验质量块结构的示例。

图3A和图3B大体示出了用于示例性MEMS加速度计的检验质量块结构的示例。

图4A和图4B总体示出了用于示例性MEMS加速度计的检验质量块结构的示例。

图5A和图5B大体示出了用于示例性MEMS加速度计的检验质量块结构的示例。

图6A和图6B大体示出了用于示例性MEMS加速度计的检验质量块结构的示例。

具体实施方式