[实用新型]一种微电子机械系统MEMS加速度计

权利要求书

1.一种微电子机械系统MEMS加速度计，包括：

第一检验质量块锚；

第一检验质量块，所述第一检验质量块通过所述第一检验质量块锚悬置在基底上，所述第一检验质量块具有限定第一平面的主表面；

第一电极的第一部，所述第一电极的第一部被配置为与所述第一电极的第二部电相互作用，其中，所述第一检验质量块包括所述第一电极的第二部；

第二电极的第一部，所述第二电极的第一部被配置为与所述第二电极的第二部电相互作用，其中，所述第一检验质量块包括所述第二电极的第二部；

其中，所述第一电极和所述第二电极被配置为提供表示所述MEMS加速度计的沿垂直于所述第一平面的轴的加速度的差分信号；

其中，所述第一电极的第一部和所述第二电极的第一部关于第一线彼此对称；并且

其中，所述第一线平分所述第一检验质量块锚，平行于所述第一平面延伸并且在所述第一电极与所述第二电极之间延伸。

2.根据权利要求1所述的MEMS加速度计，包括具有第一部和第二部的第三电极；

其中，所述第三电极的第一部通过第一电极锚悬置在所述基底上；

其中，所述第一检验质量块包括所述第三电极的第二部；并且

其中，所述第三电极的第二部被配置为响应于沿平行于所述第一平面的第一轴的加速度，平行于所述第一平面偏转。

3.根据权利要求2所述的MEMS加速度计，包括具有第一部和第二部的第四电极；

其中，所述第四电极的第一部通过第二电极锚悬置在所述基底上；

其中，所述检验质量块包括所述第四电极的第二部；并且

其中，所述第四电极的第二部被配置为响应于沿平行于所述第一平面的所述第一轴的加速度，平行于所述第一平面偏转。

4.根据权利要求3所述的MEMS加速度计，其中，所述第三电极和所述第四电极被配置为提供表示沿所述第一轴的所述加速度的差分信号。

5.根据权利要求3所述的MEMS加速度计，包括：

第二检验质量块锚；

第二检验质量块，所述第二检验质量块通过所述第二检验质量块锚悬置在所述基底上，所述第二检验质量块具有限定所述第一平面的主表面；

第五电极的第一部，所述第五电极的第一部被配置为与所述第五电极的第二部电相互作用，其中，所述第二检验质量块包括所述第五电极的第二部；

第六电极的第一部，所述第六电极的第一部被配置为与所述第六电极的第二部电相互作用，其中，所述第二检验质量块包括所述第六电极的第二部；

其中，所述第五电极和所述第六电极被配置为提供表示所述MEMS加速度计的沿垂直于所述第一平面的轴的加速度的差分信号；以及

其中，所述第五电极的第一部和所述第六电极的第一部关于所述第一线彼此对称。

6.根据权利要求5所述的MEMS加速度计，其中，所述第一线平分所述第二检验质量块锚，平行于所述第一平面延伸并且在所述第五电极与所述第六电极之间延伸。

7.根据权利要求5所述的MEMS加速度计，包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部被配置为将所述第一电极的第二部和所述第二电极的第二部与所述第一检验质量块锚耦接，并且被配置为使得所述第一电极的第二部和所述第二电极的第二部能够响应于沿垂直于所述第一平面的轴的加速度而旋转。

8.根据权利要求3所述的MEMS加速度计，包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部被配置为将所述第一电极的第二部和所述第二电极的第二部与所述第一检验质量块锚耦接，并且被配置为使得所述第一电极的第二部和所述第二电极的第二部能够响应于沿垂直于所述第一平面的轴的加速度而旋转。