[实用新型]光学检测设备及其光源寻边机构有效
申请号: | 201820258915.6 | 申请日: | 2018-02-14 |
公开(公告)号: | CN208444810U | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 陈明生 | 申请(专利权)人: | 特铨股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01B11/00 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 孙皓晨;侯奇慧 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种应用于检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光源寻边机构、一种光学检测设备及一种可供检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光学检测设备,其中,光源寻边机构由一光源组、一遮蔽组及一调光组所组成,该光源组可产生射向该基板的一受测表面的一入射光线,该入射光线经过该基板后会产生一一次反射光线及至少一二次反射光线,该遮蔽组用以遮蔽该至少一二次反射光线,且让该照射受测表面的一次反射光线通过后由一设于外部的影像传感器接收,又该调光组用以让光源组对该基板的受测表面运动方向边界形成一反射光线,并让该照射受测表面运动方向边界的反射光线通过遮蔽组后由影像传感器接收,藉以确认该受测表面的边界。 | ||
搜索关键词: | 反射光线 遮蔽 光学检测设备 光源组 基板 光源 表面运动方向 影像传感器 入射光线 透光基板 调光 照射 本实用新型 光线通过 一次反射 检测 外部 应用 | ||
【主权项】:
1.一种应用于检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光源寻边机构,其特征在于,包含:一光源组,其用于产生射向该基板的一受测表面的一入射光线,该入射光线经过该基板后产生一一次反射光线及至少一二次反射光线;一遮蔽组,其用以遮蔽该至少一二次反射光线,且让该一次反射光线通过后由一设于外部的影像传感器接收,以及一调光组,其用以让光源组对该基板的受测表面运动方向边界形成一反射光线,并让该照射受测表面运动方向边界的反射光线通过遮蔽组后由影像传感器接收;以通过受测表面的一次反射光线与边界的反射光射的不同亮度来确认该受测表面的边界。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造