[实用新型]光学检测设备及其光源寻边机构有效

专利信息
申请号: 201820258915.6 申请日: 2018-02-14
公开(公告)号: CN208444810U 公开(公告)日: 2019-01-29
发明(设计)人: 陈明生 申请(专利权)人: 特铨股份有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G01B11/00
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人: 孙皓晨;侯奇慧
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型公开了一种应用于检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光源寻边机构、一种光学检测设备及一种可供检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光学检测设备,其中,光源寻边机构由一光源组、一遮蔽组及一调光组所组成,该光源组可产生射向该基板的一受测表面的一入射光线,该入射光线经过该基板后会产生一一次反射光线及至少一二次反射光线,该遮蔽组用以遮蔽该至少一二次反射光线,且让该照射受测表面的一次反射光线通过后由一设于外部的影像传感器接收,又该调光组用以让光源组对该基板的受测表面运动方向边界形成一反射光线,并让该照射受测表面运动方向边界的反射光线通过遮蔽组后由影像传感器接收,藉以确认该受测表面的边界。
搜索关键词: 反射光线 遮蔽 光学检测设备 光源组 基板 光源 表面运动方向 影像传感器 入射光线 透光基板 调光 照射 本实用新型 光线通过 一次反射 检测 外部 应用
【主权项】:
1.一种应用于检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光源寻边机构,其特征在于,包含:一光源组,其用于产生射向该基板的一受测表面的一入射光线,该入射光线经过该基板后产生一一次反射光线及至少一二次反射光线;一遮蔽组,其用以遮蔽该至少一二次反射光线,且让该一次反射光线通过后由一设于外部的影像传感器接收,以及一调光组,其用以让光源组对该基板的受测表面运动方向边界形成一反射光线,并让该照射受测表面运动方向边界的反射光线通过遮蔽组后由影像传感器接收;以通过受测表面的一次反射光线与边界的反射光射的不同亮度来确认该受测表面的边界。
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