[实用新型]光学检测设备及其光源寻边机构有效
申请号: | 201820258915.6 | 申请日: | 2018-02-14 |
公开(公告)号: | CN208444810U | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 陈明生 | 申请(专利权)人: | 特铨股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01B11/00 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 孙皓晨;侯奇慧 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反射光线 遮蔽 光学检测设备 光源组 基板 光源 表面运动方向 影像传感器 入射光线 透光基板 调光 照射 本实用新型 光线通过 一次反射 检测 外部 应用 | ||
1.一种应用于检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光源寻边机构,其特征在于,包含:
一光源组,其用于产生射向该基板的一受测表面的一入射光线,该入射光线经过该基板后产生一一次反射光线及至少一二次反射光线;
一遮蔽组,其用以遮蔽该至少一二次反射光线,且让该一次反射光线通过后由一设于外部的影像传感器接收,以及
一调光组,其用以让光源组对该基板的受测表面运动方向边界形成一反射光线,并让该照射受测表面运动方向边界的反射光线通过遮蔽组后由影像传感器接收;以通过受测表面的一次反射光线与边界的反射光射的不同亮度来确认该受测表面的边界。
2.如权利要求1所述的光源寻边机构,其特征在于,该光源寻边机构进一步包含有一封闭式且不透光的箱体,该箱体内部形成有间隔不透光的一第一腔室及一第二腔室,又箱体的第一腔室与第二腔室底部呈开口状供组装前述的遮蔽组,其中该第一腔室供安装前述的光源组,箱体于第二腔室异于第一腔室的侧壁形成有一供一次反射光线通过的出光口。
3.如权利要求1所述的光源寻边机构,其特征在于,该光源组具有一灯壳,且灯壳内设有至少一向下射出光线的发光元件。
4.如权利要求3所述的光源寻边机构,其特征在于,该光源组的灯壳能够利用两个锁设于箱体第一腔室内壁面的安装架固定,该多个相对的安装架上具有一轴孔及一同轴心的长弧槽,供分别设有一凸轴及一锁固件锁设该灯壳两端,以通过凸轴与长弧槽而调整灯壳内发光元件光线射出的角度。
5.如权利要求2所述的光源寻边机构,其特征在于,该遮蔽组设于箱体底部,该遮蔽组分别具有一道对应第一腔室、供入射光线通过的射出口及一道对应第二腔室、供一次反射光线通过的射入口,该遮蔽组于射出口两端中至少一端相对射入口的一侧分别具有一对应受测表面边界的寻边孔槽,供调光组的反射光线通过。
6.如权利要求5所述的光源寻边机构,其特征在于,该遮蔽组由一第一遮光板及一第二遮光板所组成,该第一遮光板上具有射出口及寻边孔槽,该第二遮光板具有射入口,又该遮蔽组于箱体底面两侧分别锁设有一夹压板,供选择性限制第一遮光板、第二遮光板的移动。
7.如权利要求2所述的光源寻边机构,其特征在于,该调光组则安装于箱体内具光源组的第一腔室内部,该调光组由两个第一反射板及两个第二反射板所组成,供将光源组的光线由遮蔽组寻边孔槽射出。
8.如权利要求2所述的光源寻边机构,其特征在于,该调光组于对应第一腔室两端对应寻边孔槽处分别锁设有一立板,且两侧立板上分别锁设有一承座,两个承座上分别设有对应光源组的第一反射板,又该多个承座上具有一轴孔及一同轴心的长弧槽,供分别设有一锁固件锁设相对的立板上,供调整第一反射板相对光源组发光元件的角度,调光组两端的寻边孔槽另侧分设有一支架,各该支架上设有一可选择性调整相对第一反射板位置的顶板,且各该顶板底面具有对应第一反射板的第二反射板,供将光源组的反射光线由寻边孔槽射出。
9.一种光学检测设备,其特征在于,其于一机台上设有一工作平台,该工作平台上设有一可线性移动的载台,该载台供选择性设置一受测件,且机台于工作平台两侧中至少一侧设有一光学模块,供逐一检测该受测件的其中一表面或同步检测该受测件的两个表面;
光学模块包含有一如权利要求1至8中任一项所述的光源寻边机构及一影像传感器,该影像传感器供接收光源寻边机构所产生经该基板的受测表面的一次反射光线及受测表面边界的反射光线,又光学模块的光源寻边机构光源与影像传感器并连接有一处理单元,供操控该光源寻边机构内光源强度及处理该影像传感器的成像数据,且该处理单元具有一供显示成像画面的显示器。
10.一种可供检测一同侧具有不同边界的表面的透光基板的光学检测设备,其特征在于,包含:
一光源组,其用于产生射向该基板的一受测表面的一入射光线,该入射光线经过该基板后会产生一一次反射光线及至少一二次反射光线;
一影像传感器;
一遮蔽组,其用以遮蔽该至少一二次反射光线,且让该一次反射光线通过后由一设于外部的影像传感器接收;及
一调光组,其用以让光源组对该基板的受测表面运动方向边界形成一反射光线,并让该照射受测表面运动方向边界的反射光线通过遮蔽组后由影像传感器接收。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造