[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201820254200.3 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN208540162U | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王凯;陈虎 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技(新加坡)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R1/08 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 陈巍巍 |
| 地址： | 新加坡宏茂桥65*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有收容腔的壳体及开设于所述壳体上的进声孔，所述收容腔内设有具背腔的MEMS芯片、ASIC芯片及覆盖所述进声孔的防水防尘网，且所述背腔和所述进声孔相对设置并相连通，所述防水防尘网包括PTFE膜层、叠设于所述PTFE膜层且由金属材料制成的支撑板，所述支撑板压合于所述PTFE膜层，所述支撑板设有多个贯穿其上且相互间隔设置的透音孔。与相关技术相比，本实用新型的MEMS麦克风，生产效率高，防水防尘性能好且可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 进声孔 支撑板 本实用新型 防水防尘 收容腔 背腔 壳体 防水防尘性能 金属材料 间隔设置 生产效率 相对设置 透音孔 叠设 压合 贯穿 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，其包括具有收容腔的壳体及开设于所述壳体上的进声孔，其特征在于，所述收容腔内设有具有背腔的MEMS芯片、ASIC芯片及覆盖所述进声孔的防水防尘网，且所述背腔和所述进声孔相对设置并相连通，所述防水防尘网包括PTFE膜层、叠设于所述PTFE膜层且由金属材料制成的支撑板，所述支撑板压合于所述PTFE膜层，所述支撑板设有多个贯穿其上且相互间隔设置的透音孔。
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