[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201820254200.3 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN208540162U | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王凯;陈虎 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技(新加坡)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R1/08 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 陈巍巍 |
| 地址： | 新加坡宏茂桥65*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 进声孔 支撑板 本实用新型 防水防尘 收容腔 背腔 壳体 防水防尘性能 金属材料 间隔设置 生产效率 相对设置 透音孔 叠设 压合 贯穿 覆盖 | ||
1.一种MEMS麦克风，其包括具有收容腔的壳体及开设于所述壳体上的进声孔，其特征在于，所述收容腔内设有具有背腔的MEMS芯片、ASIC芯片及覆盖所述进声孔的防水防尘网，且所述背腔和所述进声孔相对设置并相连通，所述防水防尘网包括PTFE膜层、叠设于所述PTFE膜层且由金属材料制成的支撑板，所述支撑板压合于所述PTFE膜层，所述支撑板设有多个贯穿其上且相互间隔设置的透音孔。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述壳体包括电路板和盖接在所述电路板上并与之形成所述收容腔的外壳，所述进声孔开设于所述电路板上，所述ASIC芯片和所述防水防尘网固定于所述电路板。
3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS芯片与所述电路板固定连接，所述防水防尘网收容于所述背腔。
4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS芯片与所述防水防尘网固定连接，且所述防水防尘网夹设于所述电路板和所述MEMS芯片之间。
5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述支撑板包括两层且分别压合于所述PTFE膜层的相对两侧。
6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述支撑板的厚度为10～100μm。
7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，每个所述透音孔的孔径为5～10μm，相邻两个所述透音孔之间的间隔为1～3μm。
8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述透音孔通过微细加工的金属蚀刻工艺加工成型。
9.根据权利要求1-8任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背腔的中轴线和所述进声孔的中轴线位于同一直线上。
10.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述ASIC芯片和所述电路板通过绑定金线电连接，所述MEMS芯片和所述ASIC芯片通过绑定金线电连接。
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