[实用新型]一种简易式微流道制作装置

摘要

本实用新型公开了一种简易式微流道制作装置，包括刻蚀装置及光刻装置，以及平台，刻蚀装置和光刻装置分别安装于第一、第二伺服机械手的上端，所述平台上端竖向设有第一、第二连接基座，第一连接基座内侧设有第一滑槽，第二连接基座内侧设有第二滑槽，第一、第二滑槽之间滑动连接有一横向基座，横向基座底部设有一压板；第一、第二连接基座外侧及上端设有C型架，该C型架底部设有一基于伺服控制的液压式伸缩装置，平台上端设有一基于伺服控制的纵向移动装置；本实用新型采用刻蚀和光刻设备以及压制设备将硅片进行刻蚀、光刻以及压制分离的方式，即可得到复杂的微流道模板，该微流道制作装置加工成本明显低于硅基刻蚀方法，且制作简单，精度高。

主权项

1.一种简易式微流道制作装置，包括一刻蚀装置，一光刻装置，以及一平台，所述平台两侧设有和地基连接的螺栓孔，所述刻蚀装置和光刻装置分别安装于基于伺服控制的第一伺服机械手、第二伺服机械手的上端，所述第一伺服机械手、第二伺服机械手底部安装于平台上端两侧，其特征在于，所述平台上端竖向设有第一连接基座和第二连接基座，所述第一连接基座内侧设有第一滑槽，所述第二连接基座内侧设有第二滑槽，所述第一滑槽、第二滑槽之间滑动连接有一横向基座，所述横向基座底部设有一压板；所述第一连接基座、第二连接基座外侧及上端设有一C型架，该C型架底部设有一基于伺服控制的液压式伸缩装置，所述液压式伸缩装置底部和横向基座的上端相连接；同时，所述平台上端还设有一基于伺服控制的纵向移动装置。