[实用新型]一种简易式微流道制作装置有效
申请号: | 201820136477.6 | 申请日: | 2018-01-26 |
公开(公告)号: | CN207913805U | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 潘尧 | 申请(专利权)人: | 苏州锐材半导体有限公司 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 陆晓鹰 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连接基座 上端 制作装置 滑槽 刻蚀 本实用新型 光刻装置 横向基座 刻蚀装置 伺服控制 微流道 流道 简易 液压式伸缩装置 纵向移动装置 伺服机械手 光刻设备 滑动连接 压制设备 硅片 光刻 硅基 竖向 压板 压制 制作 加工 | ||
1.一种简易式微流道制作装置,包括一刻蚀装置,一光刻装置,以及一平台,所述平台两侧设有和地基连接的螺栓孔,所述刻蚀装置和光刻装置分别安装于基于伺服控制的第一伺服机械手、第二伺服机械手的上端,所述第一伺服机械手、第二伺服机械手底部安装于平台上端两侧,其特征在于,所述平台上端竖向设有第一连接基座和第二连接基座,所述第一连接基座内侧设有第一滑槽,所述第二连接基座内侧设有第二滑槽,所述第一滑槽、第二滑槽之间滑动连接有一横向基座,所述横向基座底部设有一压板;所述第一连接基座、第二连接基座外侧及上端设有一C型架,该C型架底部设有一基于伺服控制的液压式伸缩装置,所述液压式伸缩装置底部和横向基座的上端相连接;同时,所述平台上端还设有一基于伺服控制的纵向移动装置。
2.如权利要求1所述的一种简易式微流道制作装置,其特征在于,所述纵向移动装置包括第一导轨、第二导轨,所述第一导轨、第二导轨固接于平台上端,并且所述第一导轨、第二导轨位于第一连接基座和第二连接基座之间;所述第一导轨和第二导轨上滑动连接有一可沿着第一导轨、第二导轨纵向滑动的基于伺服控制的电动滑动装置,所述电动滑动装置上端设有一平面基座,该平面基座上端对应压板。
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