[实用新型]一种利用RTS的CIGS薄膜型太阳能电池的制备装置有效
| 申请号： | 201820128774.6 | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN208038536U | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 白雨成;全义九;李相文;张昌泳;丁钟国;边娜恩 | 申请（专利权）人： | 株式会社SELCOS;胜显（上海）商贸有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 韩国京畿道华城*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种利用RTS(快速热升华)的CIGS薄膜型太阳能电池的制备装置，包括真空腔；被固定在所述真空腔盖内侧面的基板加热器驱动部；被安装在设置于真空腔底面上并与所述基板加热用加热器相隔预定距离的放置部上的基板；设置在所述基板下方的近距离蒸发源；根据操作人员的操作进行发热的元素加热用加热器；设置在所述近距离蒸发源和所述元素加热用加热器之间，将所述元素加热用加热器产生的热量施加到所述近距离蒸发源的石英窗口。本实用新型利用RTS沉积硒，通过基板用高温加热形成结晶，制备铜‑铟‑镓‑硒太阳能电池单元，有效避免了H2Se或H2S等有毒气体；简化了薄膜太阳能电池制造工艺，节约了成本，提高了生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 近距离 蒸发源 基板 加热 本实用新型 太阳能电池 制备装置 真空腔 薄膜太阳能电池 太阳能电池单元 相隔预定距离 基板加热器 高温加热 基板加热 热量施加 石英窗口 真空腔盖 制造工艺 热升华 沉积 制备 发热 驱动 节约 | ||
【主权项】：
1.一种利用RTS的CIGS薄膜型太阳能电池的制备装置，其特征在于，包括：真空腔；被固定在所述真空腔盖内侧面，用于响应从外部输入的加热器控制信号使基板加热用加热器发热，从而加热基板的基板加热器驱动部；被安装在设置于真空腔底面上并与所述基板加热用加热器相隔预定距离的放置部上的基板；设置在所述基板下方的近距离蒸发源；根据操作人员的操作进行发热的元素加热用加热器；设置在所述近距离蒸发源和所述元素加热用加热器之间，将所述元素加热用加热器产生的热量施加到所述近距离蒸发源的石英窗口。
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