[实用新型]一种晶体生长反应装置有效
| 申请号： | 201820045813.6 | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN208023114U | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 胡西多 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B9/10 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林;杨桂洋 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶体生长反应装置，包括釜体和设在釜体内的坩埚，所述坩埚的底面和侧壁分别设有加热器，坩埚中设有内腔体，内腔体中设有晶种，釜体上设有进气口和出气口，坩埚内设有位于内腔体一侧的阀门和阀门驱动装置，阀门与阀门驱动装置连接。本实用新型通过阀门驱动装置驱动阀门转动、平动或者摇摆运动，使晶种表面的液体镓源发生可控流动，进一步促进反应前的过饱和溶液与反应过后的残余溶液交替运动，提高材料生长速率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 阀门驱动装置 内腔体 本实用新型 反应装置 晶体生长 阀门 釜体 晶种 进气口 加热器 过饱和溶液 材料生长 残余溶液 交替运动 驱动阀门 摇摆运动 出气口 速率和 液体镓 侧壁 底面 可控 平动 转动 体内 流动 | ||
【主权项】：
1.一种晶体生长反应装置，包括釜体和设在釜体内的坩埚，其特征在于，所述坩埚的外部设有加热器，坩埚中设有内腔体，内腔体中设有晶种，釜体上设有进气口和出气口，坩埚内设有位于内腔体一侧的阀门和阀门驱动装置，阀门与阀门驱动装置连接。
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