[实用新型]超声波指纹传感器有效
| 申请号： | 201820027505.0 | 申请日： | 2018-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN207780807U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 季锋;闻永祥;刘琛;周浩 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了超声波指纹传感器，其包括：CMOS电路；以及至少一个超声波换能器，其中，CMOS电路与至少一个超声波换能器连接，用于驱动至少一个超声波换能器和处理至少一个超声波换能器产生的检测信号，其中，至少一个超声波换能器包括：模板层，模板层包括第一开口；位于模板层上的第一停止层，第一停止层共形地覆盖模板层，从而形成与第一开口对应的空腔；位于第一停止层上的第二停止层；位于第二停止层上的压电叠层；以及穿过压电叠层到达空腔的至少一个第二开口，其中，第一停止层和第二停止层共同围绕空腔。通过在CMOS电路上堆叠超声波换能器，因而无需采用共晶键合连接不同的管芯，降低了制造成本和提高了成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 停止层 超声波换能器 模板层 空腔 指纹传感器 开口 压电叠层 超声波 共晶键合 检测信号 制造成本 成品率 堆叠 共形 管芯 穿过 驱动 覆盖 申请 | ||
【主权项】：
1.一种超声波指纹传感器，其特征在于，包括：CMOS电路；以及至少一个超声波换能器，其中，所述CMOS电路与所述至少一个超声波换能器连接，用于驱动所述至少一个超声波换能器和处理所述至少一个超声波换能器产生的检测信号，其中，所述至少一个超声波换能器包括：模板层，所述模板层包括第一开口；位于所述模板层上的第一停止层，所述第一停止层共形地覆盖所述模板层，从而形成与所述第一开口对应的空腔；位于所述第一停止层上的第二停止层；位于所述第二停止层上的压电叠层；以及穿过所述压电叠层到达所述空腔的至少一个第二开口，其中，所述第一停止层和所述第二停止层共同围绕所述空腔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州士兰微电子股份有限公司，未经杭州士兰微电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820027505.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：封闭空腔结构和超声波指纹传感器
- 下一篇：一种不动产登记证明工本号识别装置
