[发明专利]一种通孔层的OPC修正方法

摘要

本发明提供一种通孔层的OPC修正方法，该方法使通孔层在OPC目标层生成过程中，读入上下层通孔层的原始版图，选出通孔层到非同电位上下层通孔的距离较小的边，在经过常规的OPC操作生成通孔目标层之后，将所述选中的距离较小的边向内退一定的距离，生成最终的通孔目标层。本发明能够降低金属线末端发生短路的风险。

主权项

1.一种通孔层的OPC修正方法，其特征在于，该方法至少包括：步骤一、提供当前通孔层的版图，并读取该当前通孔层的上层通孔层版图和下层通孔层版图；步骤二、对所述上层通孔层、下层通孔层以及当前通孔层中的所述通孔进行常规OPC修正，所述当前通孔层经修正后生成当前通孔目标层；步骤三、提供一设定值，选中所述当前通孔目标层中通孔分别到非同电位的所述上层通孔层、下层通孔层中通孔距离小于或等于所述设定值的边；步骤四、将步骤三中选中的边向所述通孔内部缩回一段距离，生成最终的目标层。