[发明专利]带有自清洁刷的晶圆片刷洗方法

摘要

本发明公开了一种带有自清洁刷的晶圆片刷洗方法，解决了晶圆片刷洗中如何清洁刷套底部污渍的问题。在滚刷空心轴顶接圆柱套体（2）中活动设置有滚刷空心轴顶接圆柱（16），在滚刷空心轴顶接圆柱（16）中设置有清洁液进水水路（21），在滚刷空心轴顶接圆柱（16）与滚刷驱动轴（9）之间连接有滚刷空心轴（7），在滚刷空心轴（7）的圆柱体上设置有出水口（18），出水口（18）与滚刷空心轴（7）的空心内腔（20）连通在一起，清洁液进水水路（21）与滚刷空心轴（7）的空心内腔（20）连通在一起，在滚刷空心轴（7）上套接有滚刷套（6）。实现了刷套的自清洁，提高了晶圆片的清洗质量。

主权项

1.一种带有自清洁刷的晶圆片刷洗方法，包括以下步骤：第一步、制作圆筒状的滚刷空心轴顶接圆柱套体（2），在滚刷空心轴顶接圆柱套体（2）的右端盖上设置螺纹通孔（3）；在滚刷空心轴顶接圆柱（16）中加工出清洁液进水水路（21）；在滚刷空心轴（7）的圆柱体上设置出水口（18），在滚刷空心轴（7）的左端面上设置咬合连接凸起（8）；在滚刷驱动轴（9）的右侧面上设置咬合连接凹槽（19），在滚刷空心轴（7）上套接滚刷套（6）；第二步、在晶圆片（25）的前侧上方的左支撑板（22）上设置滚刷驱动轴轴承（14），在晶圆片（25）的前侧上方的右支撑板（23）上设置滚刷空心轴顶接圆柱套体（2），在滚刷驱动轴轴承（14）中穿接滚刷驱动轴（9），在滚刷空心轴顶接圆柱套体（2）中活动设置滚刷空心轴顶接圆柱（16），在滚刷空心轴顶接圆柱（16）与滚刷驱动轴（9）之间连接滚刷空心轴（7），使滚刷驱动轴（9）的右端与滚刷空心轴（7）的左端通过咬合连接凹槽（19）与咬合连接凸起（8）的配合连接在一起，使滚刷空心轴（7）的右端面与滚刷空心轴顶接圆柱（16）的左端面活动顶接在一起，使滚刷空心轴顶接圆柱（16）中的清洁液进水水路（21）与滚刷空心轴（7）的空心内腔（20）连通在一起；将顶接螺杆（4）从滚刷空心轴顶接圆柱套体（2）的右端盖上设置的螺纹通孔（3）穿入，并通过旋转旋转手柄（1），使顶接螺杆（4）的左端活动顶接在滚刷空心轴顶接圆柱（16）的左端侧面上；第三步、通过清洁液进水水路（21）所连接的进水螺纹孔（17）上的清洁液进水接头（5）向滚刷空心轴（7）的空心内腔（20）中注入带压力的清洁液，与此同时，通过滚刷驱动轴（9）驱动滚刷空心轴（7）进行旋转，滚刷空心轴（7）上套接的滚刷套（6）对其下方的晶圆片进行刷洗，在刷洗的同时，清洁液从滚刷空心轴（7）的圆柱体上设置的出水口（18）上渗出，实现对滚刷套（6）的自清洁；第四步、停止向滚刷空心轴（7）的空心内腔（20）中注入带压力的清洁液；反向旋转旋转手柄（1），使顶接螺杆（4）的左端向顶接螺杆伸缩空腔（40）中的右端移动，解除对滚刷空心轴顶接圆柱（16）的左端侧面的顶接，将清洁液从滚刷空心轴（7）及滚刷空心轴顶接圆柱（16）向顶接螺杆伸缩空腔（40）中的右端移动，解除咬合连接凹槽（19）与咬合连接凸起（8）的咬合配合，将滚刷空心轴（7）取出，更换滚刷空心轴（7）上套接的滚刷套（6）后，再将滚刷空心轴（7）连接到滚刷空心轴顶接圆柱（16）与滚刷驱动轴（9）之间，正向旋转旋转手柄（1），使顶接螺杆（4）的左端向顶接螺杆伸缩空腔（40）中的左端移动，使顶接螺杆（4）的左端活动顶接在滚刷空心轴顶接圆柱（16）的左端侧面上，从而便捷快速地完成滚刷套（6）的更换。