[发明专利]带有自清洁刷的晶圆片刷洗方法

说明书

本发明公开了一种带有自清洁刷的晶圆片刷洗方法，解决了晶圆片刷洗中如何清洁刷套底部污渍的问题。在滚刷空心轴顶接圆柱套体（2）中活动设置有滚刷空心轴顶接圆柱（16），在滚刷空心轴顶接圆柱（16）中设置有清洁液进水水路（21），在滚刷空心轴顶接圆柱（16）与滚刷驱动轴（9）之间连接有滚刷空心轴（7），在滚刷空心轴（7）的圆柱体上设置有出水口（18），出水口（18）与滚刷空心轴（7）的空心内腔（20）连通在一起，清洁液进水水路（21）与滚刷空心轴（7）的空心内腔（20）连通在一起，在滚刷空心轴（7）上套接有滚刷套（6）。实现了刷套的自清洁，提高了晶圆片的清洗质量。

技术领域

本发明涉及一种晶圆片刷洗装置，特别涉及一种刷体具有自清洁功能并可快速更换的晶圆片刷洗装置。

背景技术

在晶圆片生产制造过程中，晶圆片经过化学机械抛光后，晶圆片表面会残留大量颗粒、有机物和金属离子，因此需要对晶圆片表面进行刷洗。现有的晶圆片刷洗装置有很多，如单面刷洗的及双面刷洗的，但基本原理是一样的，均是通过一个自转的圆柱形清洁刷在圆片形晶圆片的表面进行滚刷，在滚刷过程中，晶圆片表面的斜上方的喷淋装置，喷出清洁水到刷体和晶圆片表面上，实现对晶圆片表面的清洁；在整个洗刷过程中，晶圆片表面的大量颗粒、有机物和金属离子首先是进入到圆柱形清洁刷的刷套中，喷淋装置所喷淋出的水可以将刷套上的清洗出的颗粒大部分冲洗掉，但也有一部分会滞留在刷套的底部，带污渍的刷体对下一晶圆片的刷洗时，会影响到清洗质量；此外，刷套属消耗品，使用一段时间就需要更换，如何缩短更换时间，是提高现场工作效率的一个关键环节。

发明内容

本发明提供了一种带有自清洁刷的晶圆片刷洗装置及刷洗方法，解决了晶圆片刷洗中如何清洁刷套底部污渍的技术问题。

本发明是通过以下技术方案解决以上技术问题的：

一种带有自清洁刷的晶圆片刷洗装置，包括彼此平行设置的左支撑板和右支撑板，在左支撑板与右支撑板之间设置有晶圆片传送皮带，在晶圆片传送皮带上设置有晶圆片，在晶圆片的后侧上方设置有清洁液喷淋管，在晶圆片的前侧上方的左支撑板上设置有滚刷驱动轴轴承，在晶圆片的前侧上方的右支撑板上设置有滚刷空心轴顶接圆柱套体，在滚刷驱动轴轴承中穿接有滚刷驱动轴，在滚刷空心轴顶接圆柱套体中活动设置有滚刷空心轴顶接圆柱，在滚刷空心轴顶接圆柱中设置有清洁液进水水路，在滚刷空心轴顶接圆柱与滚刷驱动轴之间连接有滚刷空心轴，在滚刷空心轴的圆柱体上设置有出水口，出水口与滚刷空心轴的空心内腔连通在一起，清洁液进水水路与滚刷空心轴的空心内腔连通在一起，在滚刷空心轴上套接有滚刷套。

在滚刷空心轴顶接圆柱的右端面与滚刷空心轴顶接圆柱套体的右端盖之间设置有顶接螺杆伸缩空腔，在滚刷空心轴顶接圆柱套体的右端盖上设置有螺纹通孔，顶接螺杆的左端通过螺纹通孔后活动顶接在滚刷空心轴顶接圆柱的左端侧面上，顶接螺杆的右端设置有旋转手柄；在滚刷驱动轴的右侧面上设置有咬合连接凹槽，在滚刷空心轴的左端面上设置有咬合连接凸起，滚刷驱动轴的右端与滚刷空心轴的左端是通过咬合连接凹槽与咬合连接凸起的配合连接在一起的。

在滚刷空心轴顶接圆柱的圆柱侧面设置有进水螺纹孔，进水螺纹孔与清洁液进水水路连通，在滚刷空心轴顶接圆柱套体上设置有长条通孔，清洁液进水接头穿过长条通孔螺接在进水螺纹孔上。

在穿出到左支撑板外的滚刷驱动轴上设置有同步从动带轮，在左支撑板的外侧面上设置有滚刷驱动电机，在滚刷驱动电机的输出轴上设置有同步主动带轮，在同步主动带轮与同步从动带轮之间设置有同步带。

一种带有自清洁刷的晶圆片刷洗方法，包括以下步骤：

第一步、制作圆筒状的滚刷空心轴顶接圆柱套体，在滚刷空心轴顶接圆柱套体的右端盖上设置螺纹通孔；在滚刷空心轴顶接圆柱中加工出清洁液进水水路；在滚刷空心轴的圆柱体上设置出水口，在滚刷空心轴的左端面上设置咬合连接凸起；在滚刷驱动轴的右侧面上设置咬合连接凹槽，在滚刷空心轴上套接滚刷套；