[发明专利]一种高低温测试环境自动更换探针卡的方法在审
| 申请号： | 201811607928.0 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109782031A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 杨自洪;余琨;凌俭波;周官宏;吴勇佳;王锦 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 范海燕 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高低温测试环境自动更换探针卡的方法，第一步：通过软件操作将备用card‑holder移出，然后放入B探针卡。第二步：通过软件操作将A探针卡的card‑holder移到待定区。第三步：通过软件操作将备用card‑holder移动到待测试区，此时可以进行验证B探针卡。第四步：通过软件操作将A探针卡回复常温然后移出，取出探针卡B。第五步：通过软件操作将原card‑holder移动到原备用card‑holder的位置待使用。通过优化探针台机械结构，在高低温环境下直接更换探针卡，避免高低温环境切换消耗的大量时间，最高可以减少两个小时左右的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 探针卡 软件操作 高低温测试环境 备用 高低温环境 自动更换 移出 机械结构 测试区 探针台 移动 放入 回复 取出 验证 消耗 优化 | ||
【主权项】：
1.一种高低温测试环境自动更换探针卡的方法，其特征在于：探针台增加一套备用的Card‑holder和温控系统以及机械传动装置；当需要在高低温环境下更换探针卡时，选更换探针卡，然后选择备用Card‑holder，此时备用card‑holder通过机械旋转装置从探针台内部移到舱门口；操作人员将需要更换的探针卡放置在备用Card‑holder上，然后通过软件操作选择备用Card‑holder和之前的Card‑holder进行更换，原card‑holder通过机械传动装置移动到待定区域，然后备用card‑holder通过另外一套机械传动装置移动到测试区域，此时已经可以正常的使用更换后的探针卡做测试。
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