[发明专利]一种用于磷酸机台温度控制的管路设备有效

专利信息
申请号: 201811607210.1 申请日: 2018-12-27
公开(公告)号: CN109698148B 公开(公告)日: 2021-04-13
发明(设计)人: 冯宇培;侯宗武;刘厥扬 申请(专利权)人: 上海华力集成电路制造有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;F17D1/08;F17D3/01
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种用于磷酸机台温度控制的管路设备,直供槽的第一进液口与第一缓冲槽的出液口连接;直供槽的出液口与其第二进液口连接构成主循环回路,该回路中连接有数个作业腔;作业腔连接有第一、第二开关阀;第一开关阀连接一排放口;第二开关阀与回收槽的进液口连接;第二缓冲槽;回收槽出液口与第二缓冲槽进液口连接;第二缓冲槽出液口连接于第一缓冲槽出液口与直供槽的第一进液口之间的管路;第二缓冲槽出液口与直供槽的第一进液口之间的管路上设有冷却装置。本发明通过在第二缓冲槽与直供槽之间的管路上增加冷却装置,降低磷酸进直供槽的初始温度,减少缓冲槽与直供槽之间的温度差,有效的控制了直供槽中磷酸的温度,报警概率降低。
搜索关键词: 一种 用于 磷酸 机台 温度 控制 管路 设备
【主权项】:
1.一种用于磷酸机台温度控制的管路设备,其特征在于,该设备至少包括:具有进液口和出液口的第一缓冲槽;具有第一、第二进液口及出液口的直供槽;所述第一缓冲槽的进液口和出液口分别连接有管路;所述直供槽的第一进液口通过管路与所述第一缓冲槽的出液口连接;所述直供槽的出液口通过管路与其第二进液口连接构成主循环回路,该主循环回路的管路中连接有数个作业腔;所述作业腔连接有第一、第二开关阀;所述第一开关阀连接一排放口;设有进液口和出液口的回收槽;所述第二开关阀通过管路与所述回收槽的进液口连接;具有进液口和出液口的第二缓冲槽;所述回收槽的出液口通过管路与所述第二缓冲槽的进液口连接;所述第二缓冲槽的出液口连接于所述第一缓冲槽的出液口与所述直供槽的第一进液口之间的管路;所述第二缓冲槽的出液口与所述直供槽的第一进液口之间的管路上设有冷却装置。
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