[发明专利]一种集成式进气排气装置在审

专利信息
申请号: 201811598550.2 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN109509718A 公开(公告)日: 2019-03-22
发明(设计)人: 张爽;魏猛 申请(专利权)人: 沈阳芯达科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 代理人: 孙奇
地址: 110180 辽宁省沈阳*** 国省代码: 辽宁;21
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开一种集成式进气排气装置,隔板安装于托板的阶梯面上,压板放置于托板的上表面,通过压环将压板压紧,并与托板固定;集成块固定于压板中心表面相对位置,隔板与压板间形成气体流动空间,为排气腔;隔板与托板间形成气体流动空间,为进气腔;集成块具有进气通道和排气通道,并且集成块的进气通道与进气腔相通,集成块的排气通道与排气腔相通;进气通道与排气通道互不相通;托板上设有排气槽,隔板上设有排气孔;集成块与压板接触的表面开有凹槽,用于安装上密封圈,保证集成块与压板间的紧密配合,无气体泄漏;托板与压板的接触面开有凹型槽,用于安装下密封圈,保证托板与压板间紧密配合,无气体泄漏;压环与托板通过手动旋钮固定。
搜索关键词: 托板 压板 集成块 隔板 进气通道 排气通道 进气排气装置 气体流动空间 紧密配合 气体泄漏 集成式 进气腔 排气腔 压环 相通 隔板安装 互不相通 上密封圈 手动旋钮 下密封圈 中心表面 凹型槽 排气槽 排气孔 上表面 压板压 保证
【主权项】:
1.一种集成式进气排气装置,其特征在于:包括集成块、上密封圈、压板、压环、下密封圈,托板、隔板;所述隔板安装于托板的阶梯面上,压板放置于托板的上表面,通过压环将压板压紧,并与托板固定;所述集成块固定于压板中心表面相对位置,其中隔板与压板间形成气体流动空间,称之为排气腔;隔板与托板间形成气体流动空间,称之为进气腔;所述集成块具有进气通道和排气通道,并且集成块的进气通道与进气腔相通,集成块的排气通道与排气腔相通;所述进气通道与排气通道互不相通;所述托板上设有排气槽,隔板上设有排气孔;所述集成块与压板接触的表面开有凹槽,用于安装上密封圈,保证集成块与压板间的紧密配合,无气体泄漏;所述托板与压板的接触面开有凹型槽,用于安装下密封圈,保证托板与压板间紧密配合,无气体泄漏;所述压环与托板通过手动旋钮固定。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳芯达科技有限公司,未经沈阳芯达科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811598550.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top