[发明专利]10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法在审
| 申请号： | 201811596039.9 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109482591A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 林伟;吕振群 | 申请（专利权）人： | 成都路维光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;B08B9/093 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 唐邦英 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法，所述清洗系统包括清洗装置，所述清洗装置包括清洗槽和腔体，所述腔体环设在清洗槽外侧，所述腔体上设置有竖直缺口，在缺口处配合设置有软帘，所述腔体的侧壁设置有进液口，所述清洗槽的底部设置有排液口，所述腔体的高度高于清洗槽的高度。本发明不仅能够实现实现对10代线掩膜版箱子的清洗，而且解决了人工清洗导致清洗不全面、二次污染和箱体表面受损的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗槽 腔体 清洗 掩膜版 清洗装置 箱子清洗 二次污染 配合设置 清洗系统 人工清洗 竖直缺口 箱体表面 进液口 排液口 腔体环 缺口处 侧壁 软帘 箱子 受损 | ||
【主权项】：
1.10代线掩膜版箱子清洗系统，其特征在于，包括清洗装置，所述清洗装置包括清洗槽(2)和腔体(1)，所述腔体(1)环设在清洗槽(2)外侧，所述腔体(1)上设置有竖直缺口，在缺口处配合设置有软帘(3)，所述腔体(1)的侧壁设置有进液口(11)，所述清洗槽(2)的底部设置有排液口(21)，所述腔体(1)的高度高于清洗槽(2)的高度。
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