[发明专利]10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法

说明书

本发明公开了10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法，所述清洗系统包括清洗装置，所述清洗装置包括清洗槽和腔体，所述腔体环设在清洗槽外侧，所述腔体上设置有竖直缺口，在缺口处配合设置有软帘，所述腔体的侧壁设置有进液口，所述清洗槽的底部设置有排液口，所述腔体的高度高于清洗槽的高度。本发明不仅能够实现实现对10代线掩膜版箱子的清洗，而且解决了人工清洗导致清洗不全面、二次污染和箱体表面受损的问题。

技术领域

本发明涉及掩膜版制作技术领域，具体涉及10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法。

背景技术

在掩膜版制造过程中，需要用到箱子来存放和运输掩膜版成品，由于掩膜版是高洁净度的产品，存放和运输过程均要求避免受到污染，特别是灰尘，因此装载掩膜版的箱子也必须是高洁净度的，在用来装载掩膜版之前，箱子必须经过清洁，清除脏污和灰尘。

普通尺寸的掩膜版箱子，都是由PVC材料制成无透明的，其清洁方法为：1、无尘布沾酒精后，将箱子及盖子里外所有地方擦拭过；2、再用新的无尘布，沾酒精后，将箱子及盖子的内表面重新擦拭过；3、静置5分钟后，箱子盖上盖子备用。

现有的箱子清洁方法，对于小尺寸箱子(1米以内)来说，有操作便利快捷等优点，但是对于8代线、10代线的箱子来说就明显不适用了，首先，8代线以上的箱子尺寸在1米到2米之间，如还是人工用手拿无尘布擦拭的话，手臂很难伸展到箱子的各个部位；其次，采用人工用手去擦拭，在工作过程中，人身体衣服上的灰尘容易掉落到箱子里，造成循环污染；再者，8代线以上尺寸掩膜版的箱子，均是采用透明的有机玻璃制作，如使用酒精擦拭的话会使有机玻璃表面受损，变得模糊而不再透明。综上，由于8代线和10代线掩膜版箱子在尺寸和材料上的不同，现有的箱子清洁方法将不再适用。

发明内容

本发明的目的在于提供10代线掩膜版箱子清洗系统，实现对10代线掩膜版箱子的清洗，解决人工清洗导致清洗不全面、二次污染和箱体表面受损的问题。

此外，本发明还提供上述清洗系统的清洗方法。

本发明通过下述技术方案实现：

10代线掩膜版箱子清洗系统，包括清洗装置，所述清洗装置包括清洗槽和腔体，所述腔体环设在清洗槽外侧，所述腔体上设置有竖直缺口，在缺口处配合设置有软帘，所述腔体的侧壁设置有进液口，所述清洗槽的底部设置有排液口，所述腔体的高度高于清洗槽的高度。

本发明所述清洗槽的尺寸与10代线掩膜版箱子的尺寸配合，所述清洗槽在清洗过程中用于放置箱体和清洗液，将箱体浸没在清洗液中，通过设置软帘便于将箱子放入清洗槽内，所述腔体的设置一方面在浸泡洗和冲洗过程中对液体进行阻挡，避免液体飞溅，同时，便于设置进液口，利于清洗液导入清洗槽内，清洗后的污水由排液口排放。

本发明的清洗过程为：

将掩膜版箱子放进清洗槽内，用泵抽取碱液到清洗槽，使碱液没过箱子，浸泡约5分钟后将碱液排掉；然后用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约3分钟；用泵抽取表面活性剂液到清洗槽内，使活性剂液没过箱子，浸泡约分钟后将液体排掉；用水枪对箱子的各个部位进行冲洗。

本发明通过设置清洗槽和腔体，在清洗槽内实现对箱子的浸泡洗和冲洗，避免人工清洗因手臂不够长带来的擦拭困难、避免人工擦拭中，身体上的灰尘掉落重新污染箱子的可能、避免了有机溶剂酒精等对透明有机材料的箱子表面造成的损伤，同时腔体对液体进行阻挡，避免液体飞溅，如此，本发明实现了对10代线掩膜版箱子的清洗，解决了人工清洗导致清洗不全面、二次污染和箱体表面受损的问题。

优选地，所述清洗槽和腔体采用不锈钢制成。

进一步地，清洗槽为矩形槽，所述腔体为包括3个侧面的U形结构，在U形结构的2个侧壁之间设置软帘，所述腔体的3个侧面紧贴清洗槽的3个侧壁设置。