[发明专利]一种多层高阶HDI板蚀刻装置在审
| 申请号： | 201811589588.3 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109587963A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 罗新权;史国平;吴建明 | 申请（专利权）人： | 奥士康科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 | 代理人： | 徐新 |
| 地址： | 413000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多层高阶HDI板蚀刻装置。所述多层高阶HDI板蚀刻装置包括两个支撑板；安装板，所述安装板固定安装在两个所述支撑板的顶部；凹槽，所述凹槽开设在所述安装板的顶部；多个导流孔，多个所述导流口开设在所述凹槽的底部内壁上；集液槽，所述集液槽固定安装在所述安装板的底部，且所述集液槽与多个所述导流孔相连通；水泵，所述水泵固定安装在所述支撑板的一侧；出水孔，所述出水孔开设在所述集液槽的一侧内壁上，且所述出水孔与所述水泵的进水口相连通。本发明提供的多层高阶HDI板蚀刻装置具有使用方便、不需要将HDI板放在蚀刻液内、拿取方便、蚀刻速度快、效率高、蚀刻均匀的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻装置 集液槽 安装板 出水孔 支撑板 水泵 蚀刻 导流孔 安装板固定 底部内壁 导流口 进水口 蚀刻液 拿取 内壁 | ||
【主权项】：
1.一种多层高阶HDI板蚀刻装置，其特征在于，包括：两个支撑板；安装板，所述安装板固定安装在两个所述支撑板的顶部；凹槽，所述凹槽开设在所述安装板的顶部；多个导流孔，多个所述导流口开设在所述凹槽的底部内壁上；集液槽，所述集液槽固定安装在所述安装板的底部，且所述集液槽与多个所述导流孔相连通；水泵，所述水泵固定安装在所述支撑板的一侧；出水孔，所述出水孔开设在所述集液槽的一侧内壁上，且所述出水孔与所述水泵的进水口相连通；滤网，所述滤网固定安装在所述集液槽内，且所述过滤网与所述出水孔相适配；固定机构，所述固定机构设在所述凹槽内；升降机构，所述升降机构固定安装在所述安装板上；蚀刻机构，所述蚀刻机构固定安装在所述升降机构上。
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