[发明专利]真空镀膜流片传递装置及其传递方法与应用在审
| 申请号： | 201811587603.0 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109594054A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 黄稳;武启飞;廖良生;徐飞;赵平 | 申请（专利权）人： | 苏州方昇光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 蒋慧妮 |
| 地址： | 215021 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种真空镀膜流片传递装置及其传递方法与应用，包括传递室、设置于传递室内的传输组件及与传输组件传动连接的驱动机构；传递室的侧壁上开设有传递窗，驱动机构包括水平驱动组件和与传输组件传动连接的旋转驱动组件；旋转驱动组件用于周向转动所述传输组件，以调整传输组件的传输方向；传输组件包括承载支架、设置于承载支架上的一个以上传输轴和设置于传输轴上的传输轮，传输轮与水平驱动组件同步传动连接。该传递装置可应用于真空镀膜生产线，本发明实现对位后的样品架在各个功能腔中自由传递。同时，本发明的结构可以实现生产线的开环及闭环型结构，提高效率及场地利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 传输组件 传递装置 传递 水平驱动组件 旋转驱动组件 承载支架 传动连接 驱动机构 真空镀膜 传递室 传输轮 传输轴 流片 真空镀膜生产线 应用 同步传动连接 场地利用率 传输方向 周向转动 闭环型 传递窗 功能腔 样品架 侧壁 对位 开环 室内 自由 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜流片传递装置，其特征在于：包括传递室、设置于传递室内的传输组件及与所述传输组件传动连接的驱动机构；所述传递室的侧壁上开设有传递窗，所述传递室通过各所述传递窗分别与不同的功能室连通；所述驱动机构包括水平驱动组件和旋转驱动组件；所述旋转驱动组件与所述传输组件传动连接，用于周向转动所述传输组件，以调整传输组件的传输方向；所述传输组件包括承载支架、传输轴和传输轮，所述传输轮通过传输轴设置于所述承载支架上，所述传输轮设置有一个以上，所述传输轮与所述水平驱动组件同步传动连接。
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