[发明专利]真空镀膜流片传递装置及其传递方法与应用

说明书

本发明提供了一种真空镀膜流片传递装置及其传递方法与应用，包括传递室、设置于传递室内的传输组件及与传输组件传动连接的驱动机构；传递室的侧壁上开设有传递窗，驱动机构包括水平驱动组件和与传输组件传动连接的旋转驱动组件；旋转驱动组件用于周向转动所述传输组件，以调整传输组件的传输方向；传输组件包括承载支架、设置于承载支架上的一个以上传输轴和设置于传输轴上的传输轮，传输轮与水平驱动组件同步传动连接。该传递装置可应用于真空镀膜生产线，本发明实现对位后的样品架在各个功能腔中自由传递。同时，本发明的结构可以实现生产线的开环及闭环型结构，提高效率及场地利用率。

技术领域

本发明属于真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜流片传递装置及其传递方法与应用。

背景技术

有机薄膜电致发光显示器件（OLED），是有机半导体材料在电场作用下发光的一项新兴技术，近年来得到了迅速发展。OLED照明产品的低能耗、环保、超薄、高色彩饱和度、面光源等优点，使其成为未来照明产品发展的主流趋势之一。现如今OLED照明器件主要通过蒸发镀膜的方法制备，在实际生产中，因为其要在高真空条件下生产，并且具有多道蒸镀工艺，传统的产线方案是采用团簇式（Cluster）结构，即多个八角腔体相连，每个八角腔体的各个边上安装不同功能的蒸镀腔体，处于中间的八角腔体作为传输用，内部安装有传输用机械手，所蒸镀的产品（玻璃基片）依次通过每个八角腔体。八角腔体作为传递腔体，其主要靠真空机械手完成基片从一个功能腔体到另外一个功能腔。对于大型蒸镀生产线来说，真空机械手价格昂贵，由于传递的一般是传递玻璃基片，重量较轻，导致每个功能的蒸镀腔体都需对位装置，而且此传递方式蒸发源只能为点源，无法实现线蒸发源方式蒸发，效率低，材料利用率低。

发明内容

为了解决现有技术的不足，本发明提供了一种膜流片传递装置及其传递方法与应用。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

一种真空镀膜流片传递装置，包括传递室、设置于传递室内的传输组件及与所述传输组件传动连接的驱动机构；所述传递室的侧壁上开设有传递窗，所述传递室通过各所述传递窗分别与不同的功能室连通；

所述驱动机构包括水平驱动组件和旋转驱动组件；所述旋转驱动组件与所述传输组件传动连接，用于周向转动所述传输组件，以调整传输组件的传输方向；

所述传输组件包括承载支架、传输轴和传输轮，所述传输轮通过传输轴设置于所述承载支架上，所述传输轮设置有一个以上，所述传输轮与所述水平驱动组件同步传动连接。

优选地，所述旋转驱动组件包括第一电机、与第一电机输出轴传动连接的磁流体密封件，所述磁流体密封件的一端与所述传输组件连接。

优选地，所述传输组件还包括固定连接于所述传输轴上的同步轮及连接于各所述同步轮之间的传输带，所述同步轮通过传输带同步传动。

优选地，所述水平驱动组件包括第二电机，与第二电机输出轴连接的驱动轮，所述驱动轮通过传动带与同步轮传动连接。

优选地，所述磁流体密封件包括轴套及转轴，所述转轴的一端与所述传输组件连接，另一端与第一电机传动连接，所述转轴内设置有中空腔体，所述驱动轮及传动带设置在所述中空腔体内，所述第二电机固定设置在所述转轴上。

优选地，所述承载支架的两侧设置有相互对应的第一限位组件，相对设置的两个第一限位组件间的距离与所述样品的宽度相当，所述第一限位组件设置于相邻传输轮之间。

优选地，所述传递室的侧壁上设置有第二限位组件，所述第二限位组件相对设置在传递窗的两侧。

优选地，所述传递室底部设置有用于支撑所述样品的传递支撑轮，所述传递支撑轮分别设置于传递窗下方。