[发明专利]真空镀膜流片传递装置及其传递方法与应用

权利要求书

1.一种真空镀膜流片传递装置，其特征在于：包括传递室、设置于传递室内的传输组件及与所述传输组件传动连接的驱动机构；所述传递室的侧壁上开设有传递窗，所述传递室通过各所述传递窗分别与不同的功能室连通；

所述驱动机构包括水平驱动组件和旋转驱动组件；所述旋转驱动组件与所述传输组件传动连接，用于周向转动所述传输组件，以调整传输组件的传输方向；

所述传输组件包括承载支架、传输轴和传输轮，所述传输轮通过传输轴设置于所述承载支架上，所述传输轮设置有一个以上，所述传输轮与所述水平驱动组件同步传动连接。

2.如权利要求1所述的真空镀膜流片传递装置，其特征在于：所述旋转驱动组件包括第一电机、与第一电机输出轴传动连接的磁流体密封件，所述磁流体密封件的一端与所述传输组件连接。

3.如权利要求2所述的真空镀膜流片传递装置，其特征在于：所述传输组件还包括固定连接于所述传输轴上的同步轮及连接于各所述同步轮之间的传输带，所述同步轮通过传输带同步传动。

4.如权利要求3所述的真空镀膜流片传递装置，其特征在于：所述水平驱动组件包括第二电机，与第二电机输出轴连接的驱动轮，所述驱动轮通过传动带与同步轮传动连接。

5.如权利要求4所述的真空镀膜流片传递装置，其特征在于：所述磁流体密封件包括轴套及转轴，所述转轴的一端与所述传输组件连接，另一端与第一电机传动连接，所述转轴内设置有中空腔体，所述驱动轮及传动带设置在所述中空腔体内，所述第二电机固定设置在所述转轴上。

6.如权利要求1所述的真空镀膜流片传递装置，其特征在于：所述承载支架的两侧设置有相互对应的第一限位组件，相对设置的两个第一限位组件间的距离与所述样品的宽度相当，所述第一限位组件设置于相邻传输轮之间。

7.如权利要求1所述的真空镀膜流片传递装置，其特征在于：所述传递室的侧壁上设置有第二限位组件，所述第二限位组件相对设置在传递窗的两侧。

8.如权利要求1所述的真空镀膜流片传递装置，其特征在于：所述传递室底部设置有用于支撑所述样品的传递支撑轮，所述传递支撑轮分别设置于传递窗下方。

9.真空镀膜生产线，其特征在于：包括至少一个如权利要求1-8任意一项所述的真空镀膜流片传递装置，还包括多个功能室，所述多个功能室为依次连接的基片掩膜的贴合室、第一有机蒸镀室、第一传输过渡室、第二有机蒸镀室、基片掩膜的分离室及第二传输过渡室，所述贴合室与分离室之间通过第二传输过渡室首尾相接形成环形结构，所述真空镀膜流片传递装置中的传递室设置于任意两个所述功能室之间。

10.如权利要求1-8中任意所述的真空镀膜流片传递装置或9所述的真空蒸镀生产线的样品传递方法，其特征在于：其传递方法包括如下步骤，

S1、启动所述旋转驱动组件，调整传输组件的传输方向，使之与待传递样品的传递窗相对应；

S2、将待传递的样品从传递室一侧通过传递窗进入传递室，并使样品支撑在传输轮上；

S3、启动水平驱动组件，驱动传输轮运转，所述传输轮带动所述样品达到旋转操作位置；

S4、旋转驱动组件驱动传输组件旋转预定角度；

S5、水平驱动组件驱动传输轮继续传输，直至样品传出传递装置。