[发明专利]基于杂化型等离子共振增强的红外探测器

摘要

本发明属于光电探测和传感技术领域，为解决现有技术中基于金属吸收的光探测器的制备成本偏高、光吸收不高和吸收波段调制困难的问题提出一种基于杂化型等离子共振增强的红外探测器，利用金属微纳米孔阵列层/半导体薄膜/金属薄膜复合结构构筑基于金属吸收的热电子红外探测器；通过激发顶层金属微纳米孔阵列的局域等离子共振、底金属膜层的表面等离激元，以及将两者耦合起来形成的杂化型等离子共振来极大增加金属对入射光的吸收，并将上下两层金属吸收光产生的热载流子均注入到中间半导体层，从而得到可观的光响应度；通过调控顶层微纳米孔的周期和直径、中间半导体层的厚度和折射率可以实现从近红外到中红外的可调光谱吸收。

主权项

1.基于杂化型等离子共振增强的红外探测器，其特征在于：所述的红外探测器为复合层式结构，由下而上依次为基底、底金属膜层、中间半导体层、顶层金属微纳米孔阵列层；其中底金属膜层和顶层金属微纳米孔阵列层通过导线连接，底金属膜层和中间半导体层上分别引出电极导线。