[发明专利]研磨头以及研磨装置有效
| 申请号： | 201811552723.7 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN110026868B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 柏木诚;杜峯杰;保科真穗 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B21/18 | 分类号： | B24B21/18;B24B21/04 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，提供一种结构简单且大小紧凑的研磨头和基板研磨装置。研磨头(10)具备：研磨器具按压部件(12)，该研磨器具按压部件支承研磨器具(3)；可动轴(15)，该可动轴与研磨器具按压部件(12)连结；壳体(18)，在该壳体的内部收纳可动轴(15)；以及隔壁膜(25)，该隔壁膜在可动轴(15)的端部与壳体(18)之间形成压力室(20)，隔壁膜具(25)有：中央部(25a)，该中央部与可动轴(15)的端部接触；内壁部(25b)，该内壁部与中央部(25a)连接，并且沿着可动轴(15)的侧面延伸；折返部(25c)，该折返部与内壁部(25b)连接，并且具有弯曲的剖面；以及外壁部(25d)，该外壁部与折返部(25c)连接，并且位于内壁部(25b)的外侧。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种研磨头，用于将研磨器具按压于基板，该研磨头的特征在于，具备：研磨器具按压部件，该研磨器具按压部件支承所述研磨器具；可动轴，该可动轴与所述研磨器具按压部件连结；壳体，在该壳体的内部收纳所述可动轴；以及隔壁膜，该隔壁膜在所述可动轴的端部与所述壳体之间形成压力室，所述隔壁膜具有：中央部，该中央部与所述可动轴的端部接触；内壁部，该内壁部与所述中央部连接，并且沿着所述可动轴的侧面延伸；折返部，该折返部与所述内壁部连接，并且具有弯曲的剖面；以及外壁部，该外壁部与所述折返部连接，并且位于所述内壁部的外侧。
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