[发明专利]SiC锭及SiC锭的制造方法有效
申请号: | 201811539291.6 | 申请日: | 2018-12-17 |
公开(公告)号: | CN109957840B | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 金田一麟平;藤川阳平;奥野好成 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B23/02;C30B31/06;C30B33/00 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 张轶楠;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及SiC锭及SiC锭的制造方法。该SiC锭具备:芯部;和表面层,形成于所述芯部的生长方向的表面,所述表面层的线性膨胀系数比所述芯部的线性膨胀系数小。 | ||
搜索关键词: | sic 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种SiC锭,具备:芯部;和表面层,形成于所述芯部的生长方向的表面,所述表面层的线性膨胀系数比所述芯部的线性膨胀系数小。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昭和电工株式会社,未经昭和电工株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811539291.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:SiC单晶的加工方法及SiC锭的制造方法
- 下一篇:碳化硅单晶的制造方法