[发明专利]提供具有统一栅极的单元结构的方法在审

专利信息
申请号: 201811523624.6 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN110034109A 公开(公告)日: 2019-07-19
发明(设计)人: 周文升;康伯坚;彭永州;庄永旭;杨宇滔 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 康艳青;姚开丽
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 本公开阐述一种以具有多个统一栅极的单元结构取代器件的方法。一种示例性方法包括:接收电路图,所述电路图包括所述器件;确定所述单元结构,其中所述多个统一栅极的累加有效栅极长度等于所述器件的栅极长度;基于所述单元结构及所述器件产生平面图,所述平面图包括多个占位符的布置,所述多个占位符的所述布置与所述电路图中所述单元结构的布置及所述器件的布置匹配;以及基于所述平面图、所述单元结构及所述电路图产生电路布局。所述多个占位符被所述单元结构取代且所述单元结构能够基于所述电路图而连接到所述电路图的其他部分。
搜索关键词: 单元结构 电路图 占位符 有效栅极长度 产生电路 累加 统一 匹配
【主权项】:
1.一种提供具有多个统一栅极的单元结构的方法,其特征在于,包括:接收电路图,所述电路图包括器件;确定所述单元结构,其中所述多个统一栅极的累加有效栅极长度等于所述器件的栅极长度;基于所述单元结构及所述器件产生平面图,所述平面图包括多个占位符的布置,所述多个占位符的所述布置与所述电路图中所述单元结构的布置及所述器件的布置匹配;以及基于所述平面图、所述单元结构及所述电路图产生电路布局,其中所述多个占位符被所述单元结构取代且所述单元结构能够基于所述电路图而连接到所述电路图的其他部分。
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