[发明专利]一种电子束物理气相沉积微米多层复合膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201811505719.5 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN109666900A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 陈喜锋;魏刚;王佐平;刘洲超;刘海涛;张佳;张伟强;杨艳;张镜斌 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第十二研究所 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/08;C23C14/58;C23C8/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 曾庆喜 |
| 地址： | 713102 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子束物理气相沉积微米多层复合膜，包括金属过渡层和陶瓷层，陶瓷层为9wt％Y2O3稳定的ZrO2；金属过渡层为镍基合金。其制备方法为，首先，对20CrNi3A基板进行预处理，之后清洗实验设备，将基板表面抛光，并在丙酮中超声波清洗，将NiCoCrAl靶材和YSZ靶材分别放置于两个坩埚内，再将基板加热至500℃，预热时间为60min，同时将真空度调至10‑3～10‑2Pa，最后，采用两把电子枪交替蒸发NiCoCrAl靶材和YSZ靶材沉积微米多层复合膜。采用本方法制备的膜层均匀致密，具有较低的摩擦系数及高的耐磨性。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 多层复合膜 制备 电子束物理气相沉积 金属过渡层 陶瓷层 预处理 超声波清洗 耐磨性 基板表面 基板加热 均匀致密 摩擦系数 镍基合金 实验设备 电子枪 抛光 预热 丙酮 基板 膜层 坩埚 沉积 蒸发 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种电子束物理气相沉积微米多层复合膜，其特征在于，包括金属过渡层和陶瓷层，陶瓷层为9wt％Y2O3稳定的ZrO2；金属过渡层为镍基合金，其中Co含量为14％～16％，Cr含量为13％～15％，A1含量为1％～5％，余量为Ni，以上组分质量百分比之和为100％。
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