[发明专利]刷洗装置有效
| 申请号： | 201811474003.3 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN110090824B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 赵珳技 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/02;B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及刷洗装置，刷洗装置包括：清洗刷，其旋转接触基板的表面；扭矩感测部，其感测清洗刷的旋转扭矩；速度控制部，当扭矩感测部感测的清洗刷的旋转扭矩超过预先设置的设置范围时，其使清洗刷的旋转速度变动，借助于此，可以获得提高基板的清洗效率、提高清洗效果的有利效果。 | ||
| 搜索关键词： | 刷洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种刷洗装置，其中，包括：清洗刷，其以旋转状态与基板的表面接触并进行清洗；扭矩感测部，其感测所述清洗刷的旋转扭矩，当所述扭矩感测部感测的所述清洗刷的旋转扭矩超过预先设置的设置范围时，所述清洗刷的旋转速度发生变动。
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