[发明专利]刷洗装置

权利要求书

1.一种刷洗装置，其中，包括：

清洗刷，其形成为辊状并进行旋转，外周表面在横跨基板表面的中心部的位置上旋转并接触所述基板；

扭矩感测部，对由所述清洗刷接触并进行清洗的所述基板，在清洗工序中实时感测所述清洗刷与所述基板接触引起的旋转扭矩；以及

清洗流体喷射部，向所述基板喷射清洗流体，

其中，根据所述扭矩感测部感测的信号，控制所述基板的清洗条件，以使由所述清洗流体喷射部引起的所述清洗流体的喷射量及喷射压力中某一者以上发生变动，

当所述扭矩感测部感测的所述清洗刷的旋转扭矩超过预先设置的设置范围时，所述清洗刷的旋转速度发生变动。

2.根据权利要求1所述的刷洗装置，其中，

包括对所述清洗刷的一端及另一端进行支撑的刷支架。

3.一种刷洗装置，其中，包括：

清洗刷，其形成为辊状并进行旋转，外周表面在横跨基板表面的中心部的位置上旋转并接触所述基板；

扭矩感测部，对由所述清洗刷接触并进行清洗的所述基板，在清洗工序中实时感测所述清洗刷与所述基板接触引起的旋转扭矩；以及

清洗流体喷射部，以能相对于基板表面摆动的方式设置，用于向所述基板喷射清洗流体，

其中，根据所述扭矩感测部感测的信号，控制所述基板的清洗条件，以使所述清洗流体喷射部的摆动角度及摆动速度中的某一者以上发生变动，

当所述扭矩感测部感测的所述清洗刷的旋转扭矩超过预先设置的设置范围时，所述清洗刷的旋转速度发生变动。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的刷洗装置，其中，

当在所述清洗工序进行中所述扭矩感测部感测的所述清洗刷的旋转扭矩超过预先设置的设置范围时，在所述清洗工序中实时调节所述清洗刷的旋转速度，

在所述清洗刷旋转接触所述基板的所述清洗工序期间，根据所述扭矩感测部感测的旋转扭矩，对所述清洗刷的旋转速度进行增减。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的刷洗装置，其中，

还包括基板旋转单元，其支撑所述基板并使所述基板旋转，

当在所述清洗工序进行中所述扭矩感测部感测的所述清洗刷的旋转扭矩超出预先设置的设置范围时，在所述清洗工序中由所述基板旋转单元实时调节旋转所述基板的速度，

在所述清洗刷旋转并接触所述基板的所述清洗工序期间，根据所述扭矩感测部感测的旋转扭矩，对所述清洗刷的旋转速度进行增减。