[发明专利]一种柔性显示面板及其制备方法

摘要

本发明揭露一种柔性显示面板及其制备方法，通过采用弯折性能较好的有机材料作为介电绝缘层，提高柔性显示面板弯折性能；同时，通过在第二栅极绝缘层后进行显示区的接触孔和弯折区的深孔挖孔，将部分接触孔在第一源漏金属层完成，降低第二源漏金属层挖孔的密度，在提高面板弯折性能的同时保证高PPI；采用双层SD结构制程，可以降低IR压降、提高面板显示均匀性；将弯折区走线设计为双层金属走线，可以进一步降低IR压降、降低制程风险。

主权项

1.一种柔性显示面板制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：(1)提供一柔性基板，在所述柔性基板上依次沉积并图案化形成缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、栅极层和第二栅极绝缘层；(2)在所述柔性基板的一显示区形成多个第一接触孔，其中所述第一接触孔的第一部分形成在所述第一栅极绝缘层和所述第二栅极绝缘层上，以及，所述第一接触孔的第二部分形成在所述第二栅极绝缘层上；在所述显示区的所述第二栅极绝缘层上沉积并刻蚀形成第一源漏金属层，所述第一源漏金属层的第一部分通过所述第一接触孔与所述有源层的第一部分电连接，所述第一源漏金属层的第二部分通过所述第一接触孔与所述栅极层的第一部分电连接，所述第一源漏金属层的第三部分位于所述栅极层的第二部分的上方；(3)在所述第二栅极绝缘层上沉积有机介电绝缘层，并对所述有机介电绝缘层进行曝光显影出所述第一源漏金属层；(4)以所述有机介电绝缘层为掩模进行蚀刻，在所述显示区形成多个第二接触孔，其中所述第二接触孔的第一部分形成在所述第一栅极绝缘层、所述第二栅极绝缘层和所述有机介电绝缘层上，以及，所述第二接触孔的第二部分形成在所述有机介电绝缘层上；在所述显示区的所述有机介电绝缘层上沉积并刻蚀形成第二源漏金属层，所述第二源漏金属层的第一部分通过所述第二接触孔与所述有源层的第二部分电连接，所述第二源漏金属层的第二部分通过所述第二接触孔与所述第一源漏金属层的第四部分电连接；(5)在所述有机介电绝缘层上依次沉积并图案化形成平坦层、阳极层、像素定义层以及光阻层，所述阳极层与所述第二源漏金属层的第一部分电连接。