[发明专利]一种化学液相法制备硫化铅薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种化学液相法制备硫化铅薄膜的方法，属于半导体材料的制备领域。本发明采用的是醋酸铅和硫粉，分别为铅源和硫源，以硫粉和亚硫酸钠为原料制备硫代硫酸钠，以酒石酸钾钠为络合剂，通过氢氧化钾调节pH值，将沉积液放置水浴锅中，在75℃下加热3～4小时，干燥后得到的硫化铅薄膜。本发明合成方法中所用的原料易得，工艺简便，成本低、收率高和能大规模生产薄膜的优点，因此该方法具有非常广阔的应用前景。

主权项

1.一种化学液相法制备硫化铅薄膜的方法，其包括醋酸铅、酒石酸钾钠、硫粉、亚硫酸钠、氢氧化钾，沉积液在使用时pH控制在11.0～12.0，其特征在于步骤如下：a.制备前对衬底进行去油、去污清洗，放入无水乙醇中经过超声波清洗25～30min，再放入无水乙醇中浸泡；b.配制出0.2mol/L的醋酸铅溶液、1 mol/L酒石酸钾钠溶液，将5g硫粉和12g亚硫酸钠放入烧杯中，加蒸馏水至100mL，在90℃下边搅拌边加热24h，过滤除去未反应的硫粉和硫酸盐后制备出0.2 mol/L硫代硫酸钠溶液；c.边搅拌边将20mL的酒石酸钾钠溶液缓慢地倒入30mL的醋酸铅溶液中,再将6～8mL的硫代硫酸钠倒入二者的混合溶液中，以沉积液的颜色变化，由浅棕色变至棕色再变至咖啡色最后至黑色，来判断硫代硫酸钠的具体用量；并使用氢氧化钾溶液调节pH值至11.0～12.0，加入去离子水至100mL；d.将衬底吹干后，放入75℃沉积液中，3~4小时后取出，风干。