[发明专利]太阳能电池抗PID装置

摘要

本发明公开了一种能够避免气体串气，同时能够保证混合气体均匀分布在硅片表面周围的太阳能电池抗PID装置。该太阳能电池抗PID装置，包括氮气和氧气单向混合装置、双氧发生器、气体混合均化装置以及气管；所述氮气和氧气单向混合装置与双氧发生器的进气口连通；所述气体混合均化装置通过气管与双氧发生器的出气口连通。采用该太阳能电池抗PID装置，能够有效的避免气体的倒流和串流；同时能够保证混合气体均匀覆盖在硅片表面的周围，能够适用于不同长度的硅片；能够有效的降低生产成本。

主权项

1.太阳能电池抗PID装置，其特征在于：包括氮气和氧气单向混合装置(100)、双氧发生器(200)、气体混合均化装置(300)以及气管(400)；所述氮气和氧气单向混合装置(100)与双氧发生器(200)的进气口(201)连通；所述气体混合均化装置(300)通过气管(400)与双氧发生器(200)的出气口(202)连通；所述氮气和氧气单向混合装置(100)包括气体混合本体(11)；所述气体混合本体(11)具有两端均开口的内腔；所述气体混合本体(11)的一端设置有第一密封板(12)，另一端设置有第二密封板(13)；所述气体混合本体(11)具有的腔体上部设置有第一水平隔板(112)，下部设置有第二水平隔板(115)；所述第一水平隔板(112)与气体混合本体(11)腔体的顶部之间形成氧气进气腔；所述二水平隔板(115)与气体混合本体(11)腔体的底部之间形成氮气进气腔；所述第一密封板(12)上设置有与氮气进气腔连通的氮气进气管(14)，所述氮气进气管(14)上设置有第一单向阀(15)以及第一流量调节阀(151)；所述气体混合本体(11)上表面设置有与氧气进气腔连通的氧气进气管(16)；所述氧气进气管(16)上设置有第二单向阀(17)以及第二流量调节阀(171)；所述第一水平隔板(112)上设置有第一透气孔(113)；所述第一水平隔板(112)的下表面设置有沿横向均匀分布的第一竖向隔板(114)；所述第二水平隔板(115)上设置有第二透气口(117)；所述第二水平隔板(115)的上表面设置有沿横向均匀分布的第二竖向隔板(116)；所述第二水平隔板(115)上的第二竖向隔板(116)位于第一水平隔板(112)上相邻两块第一竖向隔板(114)之间间隙的正下方；所述第二密封板(13)上设置有出气嘴(131)；所述出气嘴(131)上连接有布气筒(118)；所述布气筒(118)的一端与出气嘴(131)连通，另一端设置有密封板(19)；所述布气筒(118)内设置有布气板(118)；所述密封板(19)上设置有与布气筒(118)连通的出气管(110)；所述出气管(110)上设置有第三单向阀(111)以及第三流量调节阀(1111)；所述气体混合均化装置(300)包括均化主壳体(31)、均化区域调节体(36)以及分流装置(313)；所述均化主壳体(31)具有下部开口的内腔，所述均化主壳体(31)顶部设置有进气管(32)；所述均化主壳体(31)的下部边缘设置有凸缘(33)；所述均化主壳体(31)的内腔上部为倒锥形腔体(316)，下部为矩形腔体；所述倒锥形腔体(316)内设置有至少两层第一均流板(34)；每层第一均流板(34)包括至少两块第一均流板(34)，且沿横向均匀分布；相邻两层第一均流板(34)交替分布，即上层相邻两块第一均流板(34)之间的间隙位于下层第一均流板(34)的正上方；所述矩形腔体内具有至少两层第二均流板(35)；每层第二均流板(35)包括至少两块第二均流板(35)，且沿横向均匀分布；相邻两层第二均流板(35)交替分布，即上层相邻两块第二均流板(35)之间的间隙位于下层第二均流板(35)的正上方；所述均化区域调节体(36)中心位置设置有安装通腔(361)；所述均化区域调节体(36)的两端均设置有调节腔(362)；所述调节腔(362)上方设置有通气管(312)；所述均化区域调节体(36)套装在均化主壳体(31)上，所述均化主壳体(31)穿过安装通腔(361)；所述安装通腔(361)与均化主壳体(31)的下端匹配；所述调节腔(362)的端面和下表面具有开口，所述调节腔(362)的一端设置有侧面密封板(38)；所述调节腔(362)内设置有至少两层横向的均流板(37)；所述调节腔(362)的中心位置设置有横向的丝杆(310)；所述侧面密封板(38)上设置有驱动丝杆(310)转动的驱动电机(39)；所述调节腔(362)内滑动安装有均化调节板(311)；所述均化调节板(311)上设置有与均流板(37)匹配的穿孔(318)；所述均流板(37)穿过均化调节板(311)，所述丝杆(310)穿过均化调节板(311)，且与均化调节板(311)螺纹配合；所述通气管(312)通过导气管(314)与分流装置(313)连通，所述进气管(32)与流装置(313)连通；所述通气管(312)与分流装置(313)之间的导气管(314)上设置有电磁阀(315)；所述分流装置(313)通过气管(400)与双氧发生器(200)的出气口(202)连通；所述出气管(110)与双氧发生器(200)的进气口(201)连通。