[发明专利]一种金刚线表面金刚石团聚的确认方法在审
申请号: | 201811464512.8 | 申请日: | 2018-12-03 |
公开(公告)号: | CN109580634A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 张爱平;何晋康 | 申请(专利权)人: | 高佳太阳能股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 214174 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种金刚线表面金刚石团聚的确认方法,其包括以下步骤:1)通过仪器测量金刚线表面金刚石堆积的平均直径D和堆积直径的散差值K;2)若D≥30微米,则直接判断金刚线表面发生金刚石团聚现象;若25微米<D<30微米,7<K<10,则直接判断金刚线表面发生金刚石团聚现象;若20微米<D≤25微米,K≥10,则需要通过扫描电镜判断金刚线表面发生金刚石团聚现象。上述金刚线表面金刚石团聚的确认方法能够快速、高效、准确地判断出金刚线表面是否存在金刚石团聚现象。不仅降低了切割过程中断线和硅片表面线痕以及引起片厚偏薄等异常风险;而且提高了生产效率;保证了太阳能硅片的切割质量。 | ||
搜索关键词: | 金刚石 金刚线 团聚现象 团聚 堆积 太阳能硅片 硅片表面 切割过程 扫描电镜 生产效率 仪器测量 中断线 片厚 线痕 切割 保证 | ||
【主权项】:
1.一种金刚线表面金刚石团聚的确认方法,其特征在于,其包括以下步骤:1)通过仪器测量金刚线表面金刚石堆积的平均直径D和堆积直径的散差值K;2)根据步骤1)中D和K的值来判断金刚线表面是否发生金刚石团聚现象,具体的判断标准为:若D≥30微米,则直接判断金刚线表面发生金刚石团聚现象,若25微米<D<30微米;7<K<10,则直接判断金刚线表面发生金刚石团聚现象。
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