[发明专利]一种金刚线表面金刚石团聚的确认方法在审
| 申请号： | 201811464512.8 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109580634A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 张爱平;何晋康 | 申请（专利权）人： | 高佳太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 214174 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金刚石 金刚线 团聚现象 团聚 堆积 太阳能硅片 硅片表面 切割过程 扫描电镜 生产效率 仪器测量 中断线 片厚 线痕 切割 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种金刚线表面金刚石团聚的确认方法，其特征在于，其包括以下步骤：
1)通过仪器测量金刚线表面金刚石堆积的平均直径D和堆积直径的散差值K；
2)根据步骤1)中D和K的值来判断金刚线表面是否发生金刚石团聚现象，具体的判断标准为：若D≥30微米，则直接判断金刚线表面发生金刚石团聚现象，若25微米＜D＜30微米；7＜K＜10，则直接判断金刚线表面发生金刚石团聚现象。
2.如权利要求1所述的金刚线表面金刚石团聚的确认方法，其特征在于，所述步骤2)中若20微米＜D≤25微米；K≥10，则需要通过扫描电镜判断金刚线表面发生金刚石团聚现象。
3.如权利要求1或2所述的金刚线表面金刚石团聚的确认方法，其特征在于，所述步骤1)中通过线锯仪来测量金刚线表面金刚石堆积的平均直径D和堆积直径的散差值K，具体测量方法为：将清洁后金刚线固定在水平夹具上，固定倍率下根据灰度值进行测量5段屏幕视野的等效颗粒大小直径均值D，同时计算散差值K。
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