[发明专利]一种MEMS可调悬空螺旋电感

摘要

本发明涉及一种MEMS可调悬空螺旋电感，属于微机电器件和通信技术领域。本发明在两段悬空螺旋电感之间设置上电极，通过控制上电极和下电极之间的驱动信号，调节上电极和下电极之间的间距，改变左侧悬空螺旋电感和右侧悬空螺旋电感中各个金属线圈之间的横向间距和纵向间距，以及两个悬空螺旋电感与信号传输线之间的纵向间距，从而改变磁通线分布，调节电感值，获得所需电感量。采用本发明的可调悬空螺旋电感，可以与其他MEMS器件兼容制作，应用在可调谐智能天线等通信领域。与现有可调电感相比，本发明能够节约结构面积，减小寄生效应，简化工艺流程，实现连续可调电感值。

主权项

1.一种MEMS可调悬空螺旋电感，其特征在于包括衬底、衬底隔离层、地线、信号传输线、左侧螺旋电感、右侧螺旋电感、上电极、下电极和空气桥，所述的衬底隔离层置于衬底上，所述的上电极和下电极置于衬底隔离层上，上电极和下电极之间设有电极隔离层；所述的信号传输线有两根，两根信号传输线分别置于下电极左右两侧的衬底隔离层上；所述的左侧螺旋电感和右侧螺旋电感分别位于左右两侧的两根信号传输线的上方，左侧螺旋电感和右侧螺旋电感的一端分别通过锚点柱与下方的左右两根信号传输线相连，左侧螺旋电感和右侧螺旋电感的另一端分别与衬底隔离层中心位置上的上电极相连；所述的地线有两根，两根地线分别对称置于左右两根信号传输线两侧的衬底隔离层上，其中的一根地线在中间断开；所述的空气桥通过锚点柱架在地线中间断开处的上方；所述的下电极引出线置于衬底隔离层上，下电极引出线的一端与下电极相连接，与下电极相连接后的下电极引出线从空气桥下方穿出。