[发明专利]氧化铟锡靶材的超低温制备方法有效
| 申请号： | 201811390845.0 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109279873B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 孙本双;何季麟;舒永春;陈杰;曾学云 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C04B35/01;C04B35/622;C04B35/626 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 朱春野 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开的氧化铟锡靶材的超低温制备方法，将氧化铟粉体、氧化锡粉体球磨混匀，得到混合粉体；混合粉体与料浆液混合，得到粉料；粉料在模具中成形得到氧化铟锡靶材素坯，在模具中同时加压、升温；空气气氛中，在升高的温度、升高的压力下保持设定时间，降温至室温，得到了烧结密度高、晶粒度均匀的氧化铟锡靶材，制备温度低至450℃，晶粒尺寸在1.0μm以下，相对密度可达99.2％，制备时间短，不采用高浓度氧气气氛，制备过程安全，具有良好的工业应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 铟锡靶材 超低温 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化铟锡靶材的超低温制备方法，其特征在于，氧化铟锡靶材素坯在升高的温度、升高的压力下，在空气气氛中烧结，得到氧化铟锡靶材。
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