[发明专利]一种电容式柔性压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811386064.4 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109724720B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 曾翔宇;汪小知;李威;李梦露;沃华蕾;叶启开;黄淑毅;张亮;吴永志 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式柔性压力传感器及其制备方法。本发明从上到下依次包括上中空柔性基体层、柔性毫米结构层、介电层、下中空柔性基体层。上中空柔性基体层和下中空柔性基体层内部均有空腔，通过注入液态金属从而在空腔内部形成液态金属电极；上中空柔性基体层的空腔下底面为柔性微纳结构，下中空柔性基体层的空腔上底面为柔性微纳结构；柔性毫米结构层为两个PDMS薄膜，两个PDMS膜位于上中空柔性基体层下表面的两侧；介电层位于上中空柔性基体层和下中空柔性基体层之间。本发明引入液态金属作为电极，较大提高了灵敏度、稳定性，且器件的柔韧性更好，在拉伸的情况下仍能精确测出压力大小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电容式柔性压力传感器，其特征在于：从上到下依次包括上中空柔性基体层(1)、柔性毫米结构层(4)、介电层(5)和下中空柔性基体层(7)；上中空柔性基体层(1)内部有上中空柔性基底层空腔(2)，下中空柔性基体层(7)内部有下中空柔性基体层空腔(6)，上中空柔性基底层空腔(2)与下中空柔性基体层空腔(6)中均通过注入液态金属从而在空腔内部形成液态金属电极；上中空柔性基底层空腔(2)的下底面与下中空柔性基体层空腔(6)上底面均为柔性微纳结构(3)；上中空柔性基体层(1)下表面和下中空柔性基体层(7)上表面之间设有介电层(5)；柔性毫米结构层(4)由两个柔性膜组合，两个柔性膜分别位于上中空柔性基体层(1)下表面和介电层(5)上表面之间的两侧。
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