[发明专利]一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置及方法，包括：机架、旋转台总成、挡块夹具总成、给排水系统、上盖和压力施加装置；机架包括：支撑架和筒体；筒体的上端口安装有可开合的上盖；上盖上安装有压力施加装置；旋转台总成包括：旋转台、驱动电机和转轴；转轴可转动的设置于支撑架上，转轴的下端与驱动电机的输出轴相连接，转轴的上端安装有旋转台；挡块夹具总成设置于旋转台上；给排水系统包括进水管和出水管。本发明的亲水性圆片直接键合装置，结构简单、操作方便且成本低廉，适用于实验室研究；能够显著改善圆片键合质量。

主权项

1.一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置，其特征在于，包括：机架(1)、旋转台总成(2)、挡块夹具总成(3)、给排水系统、上盖(5)和压力施加装置(6)；机架(1)包括：支撑架和筒体(11)；筒体(11)固定安装在支撑架上，筒体(11)的上下端均开口；筒体(11)的上端口安装有可开合的上盖(5)；上盖(5)上安装有压力施加装置(6)；旋转台总成(2)包括：旋转台(24)、驱动电机(21)和转轴(23)；转轴(23)可转动的设置于支撑架上，转轴(23)的下端与驱动电机(21)的输出轴相连接，转轴(23)的上端安装有旋转台(24)；旋转台(24)伸入筒体(11)内；挡块夹具总成(3)设置于旋转台(24)上，挡块夹具总成(3)用于固定待键合处理的圆片；给排水系统包括给水管(41)和排水管(42)；给水管(41)的出水口处于旋转台(24)的上方，用于圆片键合时冲水；排水管(42)用于排出冲洗后的废水。