[发明专利]一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置及方法

权利要求书

1.一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置，其特征在于，包括：机架(1)、旋转台总成(2)、挡块夹具总成(3)、给排水系统、上盖(5)和压力施加装置(6)；

机架(1)包括：支撑架和筒体(11)；筒体(11)固定安装在支撑架上，筒体(11)的上下端均开口；筒体(11)的上端口安装有可开合的上盖(5)；上盖(5)上安装有压力施加装置(6)；

旋转台总成(2)包括：旋转台(24)、驱动电机(21)和转轴(23)；转轴(23)可转动的设置于支撑架上，转轴(23)的下端与驱动电机(21)的输出轴相连接，转轴(23)的上端安装有旋转台(24)；旋转台(24)伸入筒体(11)内；

挡块夹具总成(3)设置于旋转台(24)上，挡块夹具总成(3)用于固定待键合处理的圆片；

给排水系统包括给水管(41)和排水管(42)；给水管(41)的出水口处于旋转台(24)的上方，用于圆片键合时冲水；排水管(42)用于排出冲洗后的废水。

2.根据权利要求1所述的一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置，其特征在于，上盖(5)铰接在筒体(11)上；上盖(5)和筒体(11)上安装有锁扣装置；上盖(5)设置为透明或设置有观察窗。

3.根据权利要求1所述的一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置，其特征在于，压力施加装置(6)包括：滚珠丝杠(62)、压块和压力传感器(64)；

滚珠丝杠(62)可转动的安装在上盖(5)上，滚珠丝杠(62)的底端穿过上盖(5)进入筒体(11)内；滚珠丝杠(62)的上端安装有加载装置，下端安装有压块；

压力传感器(64)包括采集端和显示端；采集端设置于压块上，用于采集压块对待键合圆片施加的压力，显示端设置于筒体(11)外。

4.根据权利要求1所述的一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置，其特征在于，挡块夹具总成(3)包括：固定挡块(32)和若干个可转动夹具(31)；固定挡块(32)固定安装在旋转台(24)上，可转动夹具(31)均可转动的设置于旋转台(24)上，每个可转动夹具(31)上均设置有凸起限位部；

固定挡块(32)和若干个可转动夹具(31)绕旋转台(24)的轴线布置。

5.根据权利要求4所述的一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置，其特征在于，可转动夹具(31)下部设置有螺纹部，上部设置有光滑部；可转动夹具(31)通过螺纹部可转动的安装在旋转台(24)上；光滑部上设置有阶梯台。

6.根据权利要求1所述的一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置，其特征在于，旋转台(24)上设置有多组夹具安装孔；每组夹具安装孔均包括多个安装通孔，所述多个安装通孔绕旋转台(24)的轴线均布；不同组夹具安装孔的安装通孔到旋转台(24)轴线的距离不同。

7.根据权利要求1所述的一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置，其特征在于，机架(1)包括工作台(13)；筒体(11)固定设置在工作台(13)上，转轴(23)的上端穿过工作台(13)进入筒体(11)内，工作台(13)的与转轴(23)接触部设置有一圈挡水凸台；

排水管(42)的进水口设置于筒体(11)与挡水凸台之间的工作台(13)上。

8.根据权利要求1所述的一种用于亲水性圆片直接键合的键合装置，其特征在于，机架(1)包括：底板(14)、工作台(13)和若干支撑柱(15)；

底板(14)和工作台(13)分别与每个支撑柱(15)的两端固定连接；

底板(14)上固定设置有安装架(16)；转轴(23)通过轴承可转动的设置在安装架(16)上。