[发明专利]蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统有效
| 申请号： | 201811362781.3 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN110541146B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 菅原由季 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统，抑制限制构件的温度上升。蒸发源装置具备收容蒸镀材料的容器、冷却构件和将从容器的开口放出的蒸镀材料的放射角度限制在一定的角度以下的限制构件，其特征在于，限制构件具有与冷却构件相向的相向面，在包含开口的开口面的法线方向且与限制构件所具有的相向面垂直的截面中，冷却构件以夹着容器的至少一部分的方式配置，限制构件以夹着冷却构件的至少一部分的方式配置。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源装置，/n该蒸发源装置具备：/n容器，收容蒸镀材料；/n冷却构件；以及/n限制构件，将从所述容器的开口放出的蒸镀材料的放射角度限制在一定的角度以下，/n其特征在于，/n所述限制构件具有与所述冷却构件相向的相向面，/n在包含所述开口的开口面的法线方向且与所述相向面垂直的截面中，/n所述冷却构件以夹着所述容器的至少一部分的方式配置，/n所述限制构件以夹着所述冷却构件的至少一部分的方式配置。/n
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