[发明专利]蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统

说明书

本发明提供蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统，抑制限制构件的温度上升。蒸发源装置具备收容蒸镀材料的容器、冷却构件和将从容器的开口放出的蒸镀材料的放射角度限制在一定的角度以下的限制构件，其特征在于，限制构件具有与冷却构件相向的相向面，在包含开口的开口面的法线方向且与限制构件所具有的相向面垂直的截面中，冷却构件以夹着容器的至少一部分的方式配置，限制构件以夹着冷却构件的至少一部分的方式配置。

技术领域

本发明涉及蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统。

背景技术

近年来，作为显示器的一种，具备使用了有机材料的电场发光的有机EL元件的有机EL装置受到关注。在该有机EL显示器等有机电子器件制造中，存在使用蒸发源装置在基板上蒸镀有机材料或金属电极材料等蒸镀材料而进行成膜的工序。

在专利文献1的蒸镀装置中，在构成蒸发源装置的容器的内部产生的有机材料的蒸气在从该容器的开口被放出时，通过由蒸气调整构件规定的放出口向真空槽的内部放出。并且，在该蒸气调整构件之上，筒状的附着防止板以筒的一端朝向基板支架侧且另一端朝向放出口的状态配置。从送出口被放出的有机材料的蒸气通过筒状的附着防止板的内部，从基板支架侧的端部的开口被放出。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-325391号公报

专利文献1所记载的附着防止板作为限制蒸镀材料的放射角度的限制构件而发挥功能。通过辐射直接或经由有机材料的蒸气间接地对附着防止板施加来自容器或加热容器的加热器的热。若对附着防止板施加热，则有可能因该热而导致成膜对象的基板被加热。若成膜对象的基板被过度加热，则存在形成于基板上的电路、像素损伤的可能性，因此不优选。

发明内容

因此，在本发明中，鉴于上述课题，目的在于抑制限制构件的温度上升。

用于解决课题的技术方案

作为本发明的一技术方案的蒸发源装置，该蒸发源装置具备：容器，收容蒸镀材料；冷却构件；以及限制构件，将从所述容器的开口放出的蒸镀材料的放射角度限制在一定的角度以下，其特征在于，所述限制构件具有与所述冷却构件相向的相向面，在包含所述开口的开口面的法线方向且与所述相向面垂直的截面中，所述冷却构件以夹着所述容器的至少一部分的方式配置，所述限制构件以夹着所述冷却构件的至少一部分的方式配置。

作为本发明的另一技术方案的蒸发源装置，该蒸发源装置具备：多个容器，分别收容蒸镀材料；多个冷却构件；以及多个限制构件，将从多个所述容器的各自的开口放出的蒸镀材料的放射角度分别限制在一定的角度以下，其特征在于，所述多个限制构件中的每一个限制构件具有与所述多个冷却构件中的每一个冷却构件相向的相向面，关于所述多个容器中的每一个容器，在包含所述开口的开口面的法线方向且与所述相向面垂直的截面中，所述多个冷却构件中的每一个冷却构件以夹着所述多个容器中的每一个容器的至少一部分的方式配置，所述多个限制构件中的每一个限制构件以夹着所述多个冷却构件中的每一个冷却构件的至少一部分的方式配置，所述多个容器排列地配置，与相邻的两个所述容器分别对应的两个所述限制构件相向地配置。

发明的效果

根据本发明，能够抑制限制构件的温度上升。

附图说明

图1是蒸镀装置的示意剖视图。

图2是实施例1的蒸发源装置的示意图。

图3是实施例2的蒸发源装置的示意图。

图4是实施例3的蒸发源装置的示意图。

图5是实施例4的蒸发源装置的示意图。

图6是实施例5的蒸发源装置的示意图。

图7是有机EL显示装置的说明图。